Подробное описание документа

   Формирование наноразмерных пленок титана на кремнии / Беляева А. О., Сидорова С. В., Миронов Ю. М., Панфилов Ю. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2010. - № спецвыпуск. - С. 169-177.

УДК

621.38-022.532 Наноэлектроника

Авторы МГТУ

• Беляева Анна Олеговна
• Сидорова Светлана Владимировна
• Миронов Юрий Михайлович
• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях