Подробное описание документа

Панфилов Ю. В.
   Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть I. Конспект лекций / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 4. - С. 14-27.

УДК

620.3 Нанотехнология

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях