Подробное описание документа

   Интерактивный учебно-научный комплекс для выполнения работ по формированию наноструктурированных тонкопленочных покрытий / Панфилов Ю. В., Сидорова С. В., Колесник Л. Л., Рябов В. Т., Моисеев К. М. // Наноинженерия. - 2012. - № 3. - С. 31-37.

УДК

620.3 Нанотехнология

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич
• Сидорова Светлана Владимировна
• Колесник Леонид Леонидович
• Рябов Владимир Тимофеевич
• Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях