Подробное описание документа
Статья
Научная работа студентов в лаборатории ионно-плазменных процессов и нанотехнологии / Панфилов Ю. В., Волчкевич Л. И., Булыгина Е. В., Сидорова С. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 2. -
620.3 Нанотехнология