Подробное описание документа

Сидорова С. В., Панфилов Ю. В.
   Контроль роста островковых наноструктур в вакууме / Сидорова С. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 9. - С. 8-11.

УДК

620.3 Нанотехнология

Авторы МГТУ

• Сидорова Светлана Владимировна
• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях