Подробное описание документа

   Статья

Панфилов Ю. В.
   Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. - С. 15-20.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 15-20

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 6. - 2013.

подробнее