Подробное описание документа

Статья

Панфилов Ю. В.
Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. - С. 15-20.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 15-20

Журнал

Наноинженерия.
№ 6. - 2013.

подробнее