Подробное описание документа

Афонский А. А., Дьяконов В. П.
   Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике : [монография] / Афонский А. А., Дьяконов В. П. ; ред. Дьяконов В. П. - М. : ДМК, 2012. - 687 с. - Библиогр.: с. 679-686. - ISBN 978-5-94074-626-3.

Первая в России монография по самым современным электронным электро- и радиоизмерениям и измерительным приборам, применяемым в научных исследованиях, тестировании и испытании устройств и систем микроэлектроники и нанотехнологий. Впервые подробно описаны средства иэмерений, применяемые в условиях крупносерийного микроэлектронного проиэводства, и приборы ведущих в их разработке и производстве фирм: Keithley, Tektronlix, Agilellt Тесhnologiеs, LeCroy, R&S и пр. Особое внимание уделено анализу и генерации тестовых сигналов, измерению их параметров в области малых и сверхмалых времен, измерению сверхмалых токов и напряжений, анализу импеданса и иммитанса цепей, измерениям статических и динамических характеристик полупроводниковых приборов и интегральных микросхем и др. Является самым крупным обзором современных эарубежных и отечественных измерительных приборов на рынке России и мира. Для инженеров, научных работников, аспирантов, преподавателей и студентов вузов и университетов технического и классического типов.