Подробное описание документа

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интеrpальных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствуюшей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интеrpалъных схем и микромеханики.

УДК

621.794.4:621.3.049.77

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Травление

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л

Похожие издания

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Кол-во в фондах 3 экз.

подробнее

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Кол-во в фондах 2 экз.

подробнее

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Кол-во в фондах 9 экз.

подробнее