Подробное описание документа

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

В свете cовременного развития нанотехнологии и микромеханики рассмот­рены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно rлубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов. инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

УДК

621.794.4:621.3.049.77

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Травление

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Кол-во в фондах 3 экз.

подробнее

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Кол-во в фондах 9 экз.

подробнее

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Кол-во в фондах 1 экз.

подробнее