Подробное описание документа
Галперин В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
3 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Похожие издания
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - Библиогр.: