Подробное описание документа

Статья

Васильев Д. Д., Малеванная Е. И., Моисеев К. М.
Исследование влияния вспомогательных операций на состав остаточной атмосферы установки ВУП-11М / Васильев Д. Д., Малеванная Е. И., Моисеев К. М. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2015. - С. 208-212.

Авторы МГТУ

Васильев Денис Дмитриевич

Малеванная Елизавета Ильинична

Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 208-212

Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 329 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7038-4242-3.

подробнее