Подробное описание документа

   Исследование толщин и однородности выращивания пленок диоксида кремния методом ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Иванов Ю. А., Зайончковский В. С., Быков П. А. // Наноинженерия. - 2015. - № 3. - С. 3-6.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Авторы МГТУ

• Макеев Мстислав Олегович
• Иванов Юрий Александрович
• Зайончковский Вячеслав Станиславович
• Быков Павел Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях