Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

   Исследование толщин и однородности выращивания пленок диоксида кремния методом ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Иванов Ю. А., Зайончковский В. С., Быков П. А. // Наноинженерия. - 2015. - № 3. - С. 3-6.

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 3-6
   Журнал
   Наноинженерия.
   № 3. - 2015.