Личный кабинет
Подробное описание документа
Получение пленок серебра методом электронно-лучевого испарения для применения в наноплазмонике / Бабурин А. С., Габидуллин А. Р., Зверев А. В., Родионов И. А., Рыжиков И. А., Панфилов Ю. В. - DOI 10.18698/0236-3933-2016-6-4-14 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2016. - № 6. -
Скачать документ
В настоящее время широкий интерес проявляется к улучшению оптических характеристик тонких пленок металлов, применяемых в нанооптике и наноплазмонике. Для минимизации потерь пленок в плазмонике необходимо использовать квазимонокристаллические пленки. Рассмотрена задача формирования сплошных пленок квази-монокристаллического серебра с высоким аспектным отношением размера кристаллита к толщине пленки. Проанализированы механизмы роста и выбраны подложки для роста квазимонокристаллической пленки, приведены экспериментальные данные и СЭМ-изображения полученных пленок. Проведено разделение на три области роста по соотношениям интенсивности потока серебра и энергии системы пленка-подложка, получены основные зависимости размера кристаллита от скорости осаждения и температуры подложки. В результате проведенных исследований сформированы сплошные монокристалличе-ские пленки серебра толщиной 200 нм с аспектным отношением 7:1 и шероховатостью порядка 1 нм.
539.234 испарением и конденсацией
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 6. - 2016.
