Подробное описание документа

Статья

Панфилова Е. В.
Исследование планарных опаловых структур методами сканирующей туннельной микроскопии / Панфилова Е. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 122-124.

УДК
621.38-022.532 Наноэлектроника

Авторы МГТУ

Панфилова Екатерина Вадимовна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 122-124

Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. - 382 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-600-00714-7.

подробнее