Подробное описание документа

Статья

Отработка режимов технологических источников установки МВТУ-11-1 / Бабурин А. С., Моисеев К. М., Смирнов Ю. Н., Доброносова А. А. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 152-156.

УДК
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

Авторы МГТУ

Бабурин Александр Сергеевич

Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 152-156

Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. - 382 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-600-00714-7.

подробнее