Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

   Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии / Цепулин В. Г., Толстогузов В. Л., Степанов Р. О., Карасик В. Е. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2017. - № 3. - С. 4-12.

534 Механические колебания. Акустика

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 4-12
   Журнал
   Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение.
   № 3. - 2017.