Личный кабинет
Подробное описание документа
Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии / Цепулин В. Г., Толстогузов В. Л., Степанов Р. О., Карасик В. Е. - DOI 10.18698/0236-3933-2017-3-4-12 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2017. - № 3. -
Скачать документ
Представлен подход, позволяющий провести оценку случайной погрешности измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии. При разработке оценочных выражений использована линеаризованная регрессионная модель. Проведенные измерения образца эталонного покрытия показали, что расхождение оценок случайной погрешности, полученных с помощью предложенного подхода, с экспериментальными значениями составляют не более 30 % для толщин, измеренных с субнанометровой точностью.
534 Механические колебания. Акустика
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 3. - 2017.
