Подробное описание документа

   Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии / Цепулин В. Г., Толстогузов В. Л., Степанов Р. О., Карасик В. Е. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2017. - № 3. - С. 4-12.

УДК

534 Механические колебания. Акустика

Авторы МГТУ

• Цепулин Владимир Германович
• Толстогузов Виктор Леонидович
• Степанов Родион Олегович
• Карасик Валерий Ефимович

Статья опубликована в следующих изданиях