Подробное описание документа

Панфилова Е. В., Вострикова А. В., Вагулина Е. В.
   Статистический анализ и моделирование процесса вакуумного осаждения материалов на поверхность опаловой пленки / Панфилова Е. В., Вострикова А. В., Вагулина Е. В. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 315-319.

Авторы МГТУ

• Панфилова Екатерина Вадимовна
• Вагулина Елена Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях