Васильев Денис Дмитриевич
Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
---|---|---|---|
Статья в журнале |
Богачёв Максим Андреевич МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Моисеев К. М. МГТУ Назаренко М. В. |
Обработка оптических кристаллов и светодиодов в плазме тлеющего разряда | Фотоника [Photonics Russia] |
Статья в журнале |
Желтиков В. А. МГТУ
Платонов Д. Д. МГТУ Хыдырова Селби МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ |
Обзор сверхпроводниковых микрополосковых однофотонных детекторов | Фотоника [Photonics Russia] |
Статья в журнале |
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Михайлова И. В. Воробьев И. |
Разработка систем плазменной обработки изделий микро- и наноэлектроники |
Технологии в электронной промышленности
2022
.-
№ 1 (133)
.-
С.
56 - 59
|
Статья в журнале |
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Воробьев И. А. |
Разработка систем плазменной обработки изделий оптики и электроники | Фотоника [Photonics Russia] |
Статья в журнале |
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Назаренко М. В., . Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ |
Плазменная обработка поверхностей материалов для задач фотоники | Фотоника [Photonics Russia] |
Статья в журнале |
Хыдырова Селби Юсуповна МГТУ
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Барков К. А. Ивков С. А. Буйлов Н. С. Керсновский Е. С. |
Исследование структуры и электрических свойств нанокомпозитных пленок WxSI1-x | Физика твердого тела |
Материал конференции |
Vasilev D. D. МГТУ
Mikhaylova I. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Modeling of spatial ion scattering from the grid ion source |
AIP Conference Proceedings
2022
.-
Vol. 2383
.- Art.no 02009
DOI: 10.1063/5.0074600
|
Статья в журнале |
Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ |
Особенности формирования функциональных слоев тонкопленочных датчиков сопротивления | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Хыдырова С. Ю. МГТУ
Степанов Илья Александрович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Оценка характеристик однофотонного детектора в зависимости от параметров сверхпроводящей пленки WXSI1-X | Физика твердого тела |
Материал конференции |
Ezhova P. A. МГТУ
Vasilev D. D. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Automatic Control System for the Plasma Processing Unit Multi Plasma Cleaner One |
Lecture Notes in Electrical Engineering
2021
.-
Vol. 729 LNEE
.-
С.
61 - 69
|
Статья в журнале |
Hydyrova S. Y. МГТУ
Stepanov I. A. МГТУ Vasilev D. D. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Evaluation of the Single-Photon Detector Characteristics Depending on the Parameters of a WxSi1–x Superconducting Film | Physics of the Solid State |
Материал конференции |
Kouptsov A. D. МГТУ
Vasilev D. D. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Design of a liquid-phase magnetron sputtering small-sized source for the vacuum coating system MVTU-11-1MS | Journal of Physics: Conference Series |
Статья в журнале |
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ
Мамонтова В. А. МГТУ Хыдырова С. МГТУ Акишин М. Ю. МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Разработка магнетронной распылительной системы с двумя источниками для формирования ультратонких покрытий WSI для SNSPD | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Хыдырова С. МГТУ Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ |
Исследование равномерности состава двухкомпонентной пленки WxSi1-x по толщине при магнетронном распылении из двух источников | Наукоемкие технологии |
Статья в журнале |
Павленко Артем Дмитриевич МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Разработка малогабаритной установки плазменной нч обработки MPC One | Наноиндустрия |
Материал конференции |
Antipov A. V.
Seleznev V. A. Vakhtomin Yu. B. Morozov P. V. Vasilev D. D. МГТУ Malevannaya E. I. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ Smirnov K. V. |
Investigation of WSi and NbN superconducting single-photon detectors in mid-IR range | IOP Conference Series |
Материал конференции |
Hydyrova S. Yu. МГТУ
Akishin M. Yu. МГТУ Vasilev D. D. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Providing of Ultra-Thin Film Thickness Uniformity by Magnetron Sputtering from Two Sources | IOP Conference Series: Materials Science and Engineering |
Материал конференции |
Vasilev D. D. МГТУ
Moiseev K. M. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ |
Automation of the Process of Ultrathin Two-Component Films Deposition from Two Sputtering Sources |
Proceedings - 2020 International Russian Automation Conference, RusAutoCon 2020
2020
.-
С.
856 - 880
.- Art.no 9208160
|
Материал конференции |
Vasilev D. D. МГТУ
Malevannaya E. I. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ Zolotov P. I. Antipov A. V. Vakhtomin Y. B. Smirnov K. V. |
Influence of Deposited Material Energy on Superconducting Properties of the WSi Films |
IOP Conference Series
2020
.-
Vol. 781
,
Issue 1
: Materials Science and Engineering
.- Art.no 012013
|
Материал конференции |
Moiseev K. M. МГТУ
Vasilev D. D. МГТУ Hydyrova S. Yu. МГТУ |
Simulation of the cut-off wavelength of superconducting single-photon detectors based on WSi thin films for systems for optical space communications |
AIP Conference Proceedings
2019
.-
Т. 2171
.- Art.no 110012
DOI: 10.1063/1.5133246
|
Материал конференции |
Khramova A. A. МГТУ
Matanin A. R. МГТУ Polin D. A. МГТУ Vasilev D. D. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Investigation of a small-sized source parameters for magnetron sputtering with liquid-phase target | IOP Conference Series: Materials Science and Engineering |
Статья в журнале |
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Расчет движения подложки для повышения равномерности покрытий в установках с планарными цилиндрическими магнетронами | Нано- и микросистемная техника |
Статья в журнале |
Макарова Ю. С. МГТУ
Малеванная Е. И. МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ |
Технология ионно-лучевой очистки стеклянных подложек для изделий электронной техники |
Молодежный научно-технический вестник
2017
.-
№ 7
|
Статья в журнале |
Vasilev D. D. МГТУ
Malevannaya E. I. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Vacuum coating system for deposition of superconducting Wx Si(1–x) ultrathin films used in single photon detectors | Journal of Physics: Conference Series |
Статья в журнале |
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М |
Упрочняющие технологии и покрытия
2016
.-
№ 4
.-
С.
20 - 24
|
Статья в журнале |
Макарова Ю. С. МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ |
Технология жидкостной очистки подложек для изделий электронной техники |
Молодежный научно-технический вестник
2016
.-
№ 11
|
Статья в журнале |
Seleznev V. A.
Divochiy A. V. Vakhtomin Yu. B. Morozov P. V. Zolotov P. I. Vasilev D. D. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ Malevannaya E. I. МГТУ Smirnov K. V. |
Superconducting detector of IR single-photons based on thin WSi films | Journal of Physics: Conference Series |
Статья в журнале |
Vasilev D. D. МГТУ
Moiseev K. M. МГТУ |
Influence of the planar cylindrical target erosion zone of magnetron sputtering on the uniformity of a thin-film coating | Journal of Physics: Conference Series |