Михайлова Ирина Валерьевна
Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
---|---|---|---|
Статья в журнале |
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Воробьев И. А. |
Разработка систем плазменной обработки изделий оптики и электроники | Фотоника [Photonics Russia] |
Статья в журнале |
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Назаренко М. В., . Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ |
Плазменная обработка поверхностей материалов для задач фотоники | Фотоника [Photonics Russia] |
Статья в журнале |
Хыдырова Селби Юсуповна МГТУ
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Барков К. А. Ивков С. А. Буйлов Н. С. Керсновский Е. С. |
Исследование структуры и электрических свойств нанокомпозитных пленок WxSI1-x | Физика твердого тела |
Материал конференции |
Vasilev D. D. МГТУ
Mikhaylova I. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Modeling of spatial ion scattering from the grid ion source |
AIP Conference Proceedings
2022
.-
Vol. 2383
.- Art.no 02009
DOI: 10.1063/5.0074600
|
Статья в журнале |
Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ |
Особенности формирования функциональных слоев тонкопленочных датчиков сопротивления | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ
Мамонтова В. А. МГТУ Хыдырова С. МГТУ Акишин М. Ю. МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Разработка магнетронной распылительной системы с двумя источниками для формирования ультратонких покрытий WSI для SNSPD | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Хыдырова С. МГТУ Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ |
Исследование равномерности состава двухкомпонентной пленки WxSi1-x по толщине при магнетронном распылении из двух источников | Наукоемкие технологии |