Расширенный поиск

Цветков Ю. Б.
   Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 : учебное пособие / Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. - 122 с. : ил. - ISBN 978-5-7038-4864-7.

Ануров А. Е., Дидык П. И., Жуков А. А.
   Средства создания устройств микросистемной техники: материалы, технологии, деградационные процессы, основные производители и тенденции развития : учебное пособие / Ануров А. Е., Дидык П. И., Жуков А. А. ; ред. Жуков А. А. - М. : КУРС, 2022. - 110 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 100-109. - ISBN 978-5-907228-73-3.

Дидык П. И., Жуков А. А.
   Принципы функционирования, типовые конструкции исполнительных элементов и устройства микросистемной техники : учебное пособие / Дидык П. И., Жуков А. А. ; ред. Жуков А. А. - М. : КУРС, 2022. - 94 с. : ил. - Библиогр.: с. 87-92. - ISBN 978-5-907228-74-0.