Расширенный поиск

Малышева И. А.
   Технология производства интегральных микросхем : учебник для средних специальных учебных заведений / Малышева И. А. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Радио и связь, 1991. - 343 с. : ил. - Библиогр.: с. 338. - ISBN 5-256-00861-7.

   Сверхбольшие интегральные микросхемы оперативных запоминающих устройств / Баринов В. В., Березин А. С., Вернер В. Д. [и др.] ; ред. Вернер В. Д. - М. : Радио и связь, 1991. - 267 с. : рис., табл., граф. - Библиогр.: с. 256-266. - ISBN 5-256-00521-9.

Киреев В. Ю., Столяров А. А.
   Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Киреев В. Ю., Столяров А. А. - М. : Техносфера, 2006. - 190 с. - (Мир электроники). - Библиогр.: с. 188-190. - ISBN 5-94836-039-3.

   Технология микросистемной техники : учеб. пособие : в 3 ч. / Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010.
   Ч. 1 : Методы микрообработки. - 2010. - 36 с. : ил. - Библиогр.: с. 36.

   Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учеб. пособие для вузов] : в 2 т. / общ. ред. Коркишко Ю. Н. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П. - 2010. - 392 с. : ил. - Библиогр.: с. 386-389. - ISBN 978-5-9963-0335-9.

   Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учеб. пособие для вузов] : в 2 т. / общ. ред. Коркишко Ю. Н. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / Акуленок М. В., Андреев В. М., Громов Д. Г. [и др.]. - 2011. - 252 с. : ил. - Библиогр.: с. 243-248. - ISBN 978-5-9963-0336-6.

   Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники : [монография] / Кузнецов Ф. А., Воронков М. Г., Борисов В. О. [и др.] ; Ин-т неорганической химии им. А. В. Николаева, Иркутский ин-т химии им. А. Е. Фаворского, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2013. - 175 с. : ил. - (Интеграционные проекты СО РАН ; вып. 37). - Библиогр.: с. 156-171. - ISBN 978-5-7692-1272-7.

   Проблемы субмикронной технологии / Российская академия наук ; отв. ред. тома Орликовский А. А. - М. : Наука, 1993. - 111 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 6). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006991-4.

   Субмикронные технологии : сборник статей / Российская академия наук ; отв. ред. Репин В. Н. - М. : Наука, 1995. - 76 с. : рис., табл. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 9). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-000831-1.

Родионов Ю. А.
   Производство гибридных интегральных схем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2020. - 298 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 298. - ISBN 978-5-9729-0460-0.