Расширенный поиск

Жигалина О. М.
   Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.: с. 104-108. - ISBN 978-5-7038-4743-5.

Липатов Г. И.
   Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г. И. - Ай Пи Ар Медиа, 2021. - ISBN 978-5-4497-1207-3.

Физические методы нанесения нанопокрытий : учебник для вузов / под редакцией В. С. Мухина, С. Р. Шехтмана. — 3-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2025. — 333 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-13807-8.

Материаловедение и технология материалов : учебник для вузов / под редакцией Г. П. Фетисова. — 8-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2025. — 808 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-18111-1.

   Технология получения полимерных пленок специального назначения и методы исследования их свойств : учебное пособие / Cадова А. Н., Бударина Л. А., Серова В. Н. [и др.] ; ред. Стоянов О. В. - Казанский национальный исследовательский технологический университет, 2014. - ISBN 978-5-7882-1615-7.

Жукова, Л. В.  Материалы микро- и оптоэлектроники: кристаллы и световоды : учебник для вузов / Л. В. Жукова, А. С. Корсаков, Д. С. Врублевский ; под научной редакцией Б. В. Шульгина. — Москва : Издательство Юрайт, 2025. — 279 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-01703-8.