Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Очистить
4 записи
Куликов И. Н.
   Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. (Нац. исслед. ун-т). - М., 2019. - 228 л. : ил. - Библиогр.: л. 165-179.
1 экз.
Куликов И. Н.
   Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : автореф. дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. (Нац. исслед. ун-т). - М., 2019. - 17 с. : ил.
2 экз.
   Автореферат диссертации
Батагова Е. Б.
   Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов : 05. 13. 07 : автореф. дис... ктн / Батагова Е. Б. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана, Всесоюз. заоч. машиностр. ин-т. - М., 1986. - 14 с.
1 экз.
   Диссертация
Батагова Е. Б.
   Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов : 05. 13. 07 : дис... ктн / Батагова Е. Б. ; Всесоюз. заоч. машиностр. ин-т. - М., 1986. - 158 л. ил. - Библиогр.: л. 145-153.
1 экз.