4 записи
Куликов И. Н.
Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2019. - 228 л. : ил. - Библиогр.:л. 165-179 .
Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2019. - 228 л. : ил. - Библиогр.:
Куликов И. Н.
Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : автореф. дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2019. - 17 с. : ил.
Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : автореф. дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2019. - 17 с. : ил.
Автореферат диссертации
Батагова Е. Б.
Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов : 05. 13. 07 : автореф. дис... ктн / Батагова Е. Б. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана, Всесоюз. заоч. машиностр. ин-т. - М., 1986. - 14 с.
Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов : 05. 13. 07 : автореф. дис... ктн / Батагова Е. Б. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана, Всесоюз. заоч. машиностр. ин-т. - М., 1986. - 14 с.
Диссертация
Батагова Е. Б.
Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов : 05. 13. 07 : дис... ктн / Батагова Е. Б. ; Всесоюз. заоч. машиностр. ин-т. - М., 1986. - 158 л. ил. - Библиогр.:л. 145-153 .
Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов : 05. 13. 07 : дис... ктн / Батагова Е. Б. ; Всесоюз. заоч. машиностр. ин-т. - М., 1986. - 158 л. ил. - Библиогр.: