Личный кабинет
3 записи
Цветков Ю. Б.
Управление топологической точностью фотолитографии : учеб. пособие по курсу "Элионные технологии" / Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005. - 174 с. : ил. - Библиогр.:с. 170-172 .
Управление топологической точностью фотолитографии : учеб. пособие по курсу "Элионные технологии" / Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005. - 174 с. : ил. - Библиогр.:
Читать онлайн
8 экз.
Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б.
Методы литографии в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 175 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 9). - Библиогр.:с. 171 . - ISBN 978-5-7038-3500-5 .
Методы литографии в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 175 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 9). - Библиогр.:
99 экз.
Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.:с. 178-179 . - ISBN 978-5-7038-3499-2 .
Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.:
98 экз.
