Подробное описание документа

   Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии / Цепулин В. Г., Толстогузов В. Л., Карасик В. Е., Перчик А. В., Арефьев А. П. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2016. - № 3. - С. 3-12.

УДК

534 Механические колебания. Акустика

Авторы МГТУ

• Цепулин Владимир Германович
• Толстогузов Виктор Леонидович
• Карасик Валерий Ефимович
• Перчик Алексей Вячеславович

Статья опубликована в следующих изданиях