Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Личный кабинет
Расширенный поиск по каталогам
Поиск электронных учебников

Подробное описание документа

   Статья

   Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии / Цепулин В. Г., Толстогузов В. Л., Карасик В. Е., Перчик А. В., Арефьев А. П. - DOI 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12. - URL: https://vestnikprib.bmstu.ru/catalog/iemimis/mmet/969.html (дата обращения: 26.03.2026) // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2016. - № 3. - С. 3-12.

Скачать документ
Полнотекстовый документ
DOI 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12
vestnikprib.bmstu.ru/catalog/iemimis/mmet/969.html

Рассмотрен спектральный метод измерения распределения толщин слоев многослойных пленочных структур, предложены методы калибровки измерительной установки и фильтрации полученных решений. Указанные методы проверены экспериментально с помощью собранного гиперспектрального микроскопа на основе двойного акусто-оптического видеомонохроматора. Приведен анализ результатов измерения толщины двухслойной пленочной структуры из диоксида кремния (SiO2) и полиметилметакрилата на кремниевой подложке.

534 Механические колебания. Акустика

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 3-12
   Журнал
   Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - ISSN 0236-3933 (print). - ISSN 2687-0614 (web).
   № 3. - 2016.
подробнее
© НТБ МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2026
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2026

Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана, Вы соглашаетесь с использованием технических файлов (cookie) и сервисов сбора и анализа статистики посещений для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания. Подробнее о технических файлах (cookie).