Личный кабинет
Подробное описание документа
Статья
Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического видеоспектрометра / Перчик А. В., Толстогузов В. Л., Стасенко К. В., Цепулин В. Г. - DOI 10.18698/2308-6033-2013-9-915 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2013. - № 9. -
Скачать документ
Описан принцип работы акустооптического спектрометра изображений и методика определения с его помощью распределения толщины тонких пленочных покрытий.
Статья опубликована в следующих изданиях
п.н. 37
Журнал
Инженерный журнал: наука и инновации. - ISSN 2308-6033 (web).
№ 9. - 2013.
№ 9. - 2013.
Похожие издания
Статья
Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического видеоспектрометра / Перчик А. В., Толстогузов В. Л., Стасенко К. В., Цепулин В. Г. // Современные проблемы оптотехники : сборник статей / сост. Барышников Н. В. - М., 2013. - (Труды / МГТУ им. Н. Э. Баумана ; № 610). - С. 91-98 .
