Панфилов Юрий Васильевич, д.т.н., проф.

Тип публикации Авторы Заглавие Издание, год, номер, страницы
Статья в журнале Левченко В. А.
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Тенденции развития технологии и оборудования для нанесения упрочняющих покрытий Упрочняющие технологии и покрытия
2024 .- Т. 20 , № 5 (233) .- С. 232 - 239
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Создание отечественного исследовательского вакуумного оборудования для нанесения упрочняющих покрытий Упрочняющие технологии и покрытия
2023 .- Т. 19 , № 2 (218) .- С. 92 - 96
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Привносимая дефектность при формировании наноструктур в вакууме Наноиндустрия
2022 .- Т. 15 , № 3-4(114) .- С. 224 - 231
Статья в журнале Lotkov E. S. МГТУ
Baburin A. S. МГТУ
Ryzhikov I. A. МГТУ
Sorokina O. S. МГТУ
Ivanov A. I. МГТУ
Zverev A. V. МГТУ
Ryzhkov V. V. МГТУ
Bykov I. V.
Baryshev A. V.
Panfilov Y. V. МГТУ
Rodionov I. A. МГТУ
ITO film stack engineering for low-loss silicon optical modulators Scientific Reports
2022 .- Vol. 12 , Issue 1 .- Art.no 6321
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Импульсные методы нанесения упрочняющих нанокристаллических углеродных покрытий Упрочняющие технологии и покрытия
2021 .- Т. 17 , № 2(194) .- С. 93 - 96
Материал конференции Panfilov Y. V. МГТУ
Gurov A. V. МГТУ
Pulsed methods of thin film coatings deposition Journal of Physics: Conference Series
2021 .- Vol. 1954 , Issue 1 .- Art.no 012035
Материал конференции Panfilov Y. V. МГТУ
Kolesnik L. L. МГТУ
Gurov A. V. МГТУ
Thin film coatings material particles creation by pulsed methods in vacuum Journal of Physics: Conference Series
2021 .- Vol. 2059 , Issue 1 .- Art.no 012017
Статья в журнале Бабурин Александр Сергеевич МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Родионов Илья Анатольевич МГТУ
Цветков Юрий Борисович МГТУ
Приборные применения плазмонных эффектов Приборы
2020 .- № 5 .- С. 45 - 48
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Родионов Илья Анатольевич МГТУ
Рыжиков И. А.
Бабурин Александр Сергеевич МГТУ
Москалев Дмитрий Олегович МГТУ
Лотков Евгений Сергеевич МГТУ
Осаждение сверхтонких пленок в вакууме для изделий наноэлектроники Наноиндустрия
2020 .- Т. 13 , № S2 .- С. 132 - 138
Статья в журнале Цветков Юрий Борисович МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Современная контактная фотолитография - ключевой процесс микроэлектронного приборостроения Приборы
2020 .- № 1 (235) .- С. 46 - 54
Статья в журнале Чжо Я. МГТУ
Лян М. МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Возможности электронно-лучевой установки «Луч» для размерной микрообработки стекла и керамических материалов Наноиндустрия
2020 .- Т. 13 , № S2 .- С. 122 - 131
Материал конференции Zhuo Y. МГТУ
Liang M. МГТУ
Moiseev K. M. МГТУ
Kolesnik L. L. МГТУ
Panfilov Y. V. МГТУ
Possibilities of the Electron-Beam Machine LUCH for Dimensional Microprocessing of Glass and Ceramic Materials IOP Conference Series: Materials Science and Engineering
2020 .- Vol. 781 , Issue 1 .- Art.no 012014
Статья в журнале Нелюб Владимир Александрович МГТУ
Федоров Семен Юрьевич МГТУ
Бурченкова Татьяна Дмитриевна МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Моделирование тепловых нагрузок, возникающих при воздействии электрических полей на углеродные ленты с медным покрытием Современные наукоемкие технологии
2019 .- № 7 .- С. 65 - 69
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Нестеров Сергей Борисович МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Цветков Юрий Борисович МГТУ
Современные тенденции в обучении студентов вакуумной технике и технологиям Вакуумная техника и технология
2019 .- Т. 29 , № 2 .- С. 14 - 18
Статья в журнале Baburin A. S. МГТУ
Merzlikin A. M.
Baryshev A. V.
Ryzhikov I. A. МГТУ
Panfilov Y. V. МГТУ
Rodionov I. A. МГТУ
Silver-based plasmonics: Golden material platform and application challenges Optical Materials Express
2019 .- Vol. 9 , Issue 2 .- С. 611 - 642
Материал конференции Panfilov Y. V. МГТУ
Nesterov S. B. МГТУ
Kolesnik L. L. МГТУ
Sidorova S. V. МГТУ
Tsvetkov Y. B. МГТУ
Modern trends of student training on vacuum technic and technology Journal of Physics: Conference Series
2019 .- Vol. 1313 , Issue 012043 .- С. 1 - 5 .- Art.no 012043
Материал конференции Panfilov Y. V. МГТУ
Rodionov I. A. МГТУ
Ryzhikov I. A. МГТУ
Baburin A. S. МГТУ
Moskalev D. O. МГТУ
Lotkov E. S. МГТУ
Ultrathin film deposition for nanoelectronic device manucturing IOP Science
Статья в журнале Каракулов Руслан Александрович МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Ильин В. Н.
Повышение адгезионной прочности металлизации диэлектриков перед пайкой с арматурой СВЧ-приборов Упрочняющие технологии и покрытия
2018 .- Т. 14 , № 8(164) .- С. 378 - 381
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Реализация удаленного доступа к вакуумному технологическому оборудованию Вакуумная техника и технология
2018 .- Т. 28 , № 1 .- С. 22 - 27
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Упрочняющие технологии в истории МГТУ им. Н.Э. Баумана Упрочняющие технологии и покрытия
2018 .- Т. 14 , № 11(167) .- С. 483 - 488
Статья в журнале Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме Наноиндустрия
2017 .- № 6 (77) .- С. 76 - 82
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Выбор метода и режимов нанесения тонкой пленки с заданной структурой с помощью виртуального эксперимента Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век
2017 .- Т. 9 , № 3 .- С. 18 - 23
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами Упрочняющие технологии и покрытия
2017 .- Т. 13 , № 11 .- С. 523 - 527
Материал конференции Baburin A. S. МГТУ
Ivanov A. I. МГТУ
Ryzhikov I. A. МГТУ
Trofimov I. V. МГТУ
Gabidullin A. R. МГТУ
Moskalev D. O. МГТУ
Panfilov Y. V. МГТУ
Rodionov I. A. МГТУ
Crystalline Structure Dependence on Optical Properties of Silver Thin Film Over Time Progress in Electromagnetics Research Symposium
2017 .- С. 1497 - 1502
Статья в журнале Бабурин Александр Сергеевич МГТУ
Габидуллин А. Р.
Зверев Александр Вячеславович МГТУ
Родионов Илья Анатольевич МГТУ
Рыжиков Илья Анатольевич МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Получение пленок серебра методом электронно-лучевого испарения для применения в наноплазмонике Вестник МГТУ им.Н.Э.Баумана. Серия "Приборостроение"
Статья в журнале Башков Валерий Михайлович МГТУ
Миронов Юрий Михайлович МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Миронова А.
Седых Н.
Колесник Л.
Маринич С.
Селезнев А.
Установка для электронно-лучевой плавки, сварки и размерной обработки электровакуумного стекла Наноиндустрия
2016 .- № 2(64) .- С. 66 - 73
Статья в журнале Литвак Юрий Николаевич МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Применение упрочняющих покрытий для повышения точности микроразмерного сверления печатных плат Упрочняющие технологии и покрытия
2016 .- № 1 .- С. 3 - 7
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме Справочник. Инженерный журнал с приложением
2016 .- № 5 .- С. 6 - 15
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Нестеров Сергей Борисович МГТУ
Симакин С. Б.
Яковлев М. Э. МГТУ
Применение ионно-плазменных методов для формирования гладких оптических поверхностей Упрочняющие технологии и покрытия
2016 .- № 10 .- С. 15 - 18
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Выбор метода нанесения наноструктурированных тонкоплёночных покрытий по критерию "энергомассоперенос" Наноинженерия
2015 .- № 12 .- С. 3 - 10
Статья в журнале Каменихин Анатолий Тимофеевич МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Цветков Юрий Борисович МГТУ
Инженерный практикум Наноинженерия
2014 .- № 8 .- С. 37
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Вакуумные технологии и нанотехнологии (аналитический обзор материалов ХХ юбилейной научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника», сентябрь, Крым, Гаспра) Наноинженерия
2014 .- № 3 .- С. 43 - 48
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Нанотехнологическая вакуумная установка модульного типа Наноинженерия
2014 .- № 8 .- С. 14 - 17
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Направление подготовки студентов "Наноинженерия" в МГТУ им. Н.Э. Баумана Наноинженерия
2014 .- № 8 .- С. 4 - 6
Статья в журнале Башков Валерий Михайлович МГТУ
Кожина Т. Д.
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Переподготовка специалистов в области термобарьерных наноструктурированных покрытий Наноинженерия
2013 .- № 6 .- С. 36 - 40
Статья в журнале Коробова Наталья Васильевна МГТУ
Беликов Андрей Иванович МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Методы нанесения и эффективность применения тонкопленочных самосмазывающих износостойких покрытий деталей машин и инструмента Упрочняющие технологии и покрытия
2013 .- № 1 .- С. 23 - 28
Статья в журнале Литвак Юрий Николаевич МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Исследование процесса сверления микроразмерных отверстий печатных плат Наноинженерия
2013 .- № 5 .- С. 3 - 7
Статья в журнале Одиноков В. В.
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Выбор типа вакуумного нанотехнологического оборудования по критерию заданной производительности Наноинженерия
2013 .- № 11 .- С. 7 - 18
Статья в журнале Одинокова Е. В. МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Юрченко П. И. МГТУ
Перспективы получения нанометровой шероховатости поверхности ионно-лучевым методом Инженерный журнал: наука и инновации
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме Наноинженерия
2013 .- № 6 .- С. 15 - 20
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Модификация и измерение характеристик поверхности. Получение многокомпонентных покрытий (аналитический обзор материалов 13-й Международной научно-технической конференции «Инженерия поверхности и реновация изделий», июнь 2013 г., Крым, г. Ялта) Справочник. Инженерный журнал с приложением
2013 .- № 11 .- С. 3 - 7
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Наностpуктуpиpованные матеpиалы в наноинженеpии (аналитический обзоp матеpиалов XI Междунаpодной научно-технической конфеpенции "Nanostructured Materials", август 2012 г., Гpеция, о. Pодос) Наноинженерия
2013 .- № 4 .- С. 46
Статья в журнале Литвак Юрий Николаевич МГТУ
Макеев Мстислав Олегович МГТУ
Михалев Павел Андреевич МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Потловский Кирилл Геннадьевич МГТУ
Исследование наноструктурных сцинтилляционных материалов с использованием источника синхротронного излучения Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана
Статья в журнале Моисеев К. М. МГТУ
Янович Сергей Владиславович МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Модификация поверхности синтетической опаловой матрицы вакуумными методами Наноинженерия
2012 .- № 1 .- С. 4 - 7
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Евлампьев А. Н. МГТУ
Вакуумная установка настольного типа для обучения студентов и проведения научных исследований Вакуумная техника и технология
2012 .- Т. 22 , № 2 .- С. 119 - 122
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Интерактивный учебно-научный комплекс для выполнения работ по формированию наноструктурированных тонкопленочных покрытий Наноинженерия
2012 .- № 3 .- С. 31 - 37
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Интерактивный учебнонаучный комплекс для выполнения работ по формированию наноструктурированных тонкопленочных покрытий Наноинженерия
2012 .- № 3 .- С. 31 - 37
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Михалев Павел Андреевич МГТУ
Литвак Юрий Николаевич МГТУ
Булынко А. В.
Исследование сцинтилляционных свойств наноструктурированных детекторов Научное обозрение
2012 .- № 5 .- С. 240 - 246
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Волчкевич Леонид Иванович МГТУ
Булыгина Екатерина Вадимовна МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Научная работа студентов в лаборатории ионно-плазменных процессов и нанотехнологии Наноинженерия
2012 .- № 2 .- С. 44 - 48
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Астахов М. В. МГТУ
Селезнев Виталий Викторович МГТУ
Михалёв П. А. МГТУ
Литвак Юрий Николаевич МГТУ
Макеев Мстислав Олегович МГТУ
Сцинтилляционные свойства наноструктурных материалов для композиционных детекторов ионизирующих излучений Наноинженерия
2012 .- № 1 .- С. 10 - 15
Статья в журнале Панфилов Юрий васильевич МГТУ
Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть I. Конспект лекций Наноинженерия
2012 .- № 4 .- С. 14 - 27
Статья в журнале Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть II. Конспект лекций Наноинженерия
2012 .- № 6 .- С. 20 - 27
Статья в журнале Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Контроль роста островковых наноструктур в вакууме Наноинженерия
2012 .- № 9 .- С. 8 - 11