Сидорова Светлана Владимировна
| Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы | 
|---|---|---|---|
| Статья в журнале | 
    
    
Базиненков Алексей Михайлович                        МГТУ
    
     Щербакова В. С. МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ Фельде А. А. МГТУ  | 
Исследование параметров актуатора на основе диэлектрического эластомера для системы активной виброизоляции | Вестник Самарского университета. Аэрокосмическая техника, технологии и машиностроение | 
| Материал конференции | 
    
    
Кирьянов С. В.                        МГТУ
    
     Щербак Е. С. МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Островковые тонкопленочные покрытия в датчиках магнитного поля | 
    Вакуумная техника и технология: материалы XII Российской студенческой научно-технической конференции
    
     
        
        2025
        
                                    .-
            С.
145                - 147
                        
     
    
 | 
            
| Материал конференции | 
    
    
Купцов Алексей Дмитриевич                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Моделирование влияния толщины покрытия AL2O3 оптического волновода на эффективность передачи оптического сигнала | 
    Необратимые процессы в природе и технике: сборник статей XIII Всероссийской конференции
    
     
        
        2025
        
                                    .-
            С.
101                - 104
                        
     
    
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Купцов Алексей Дмитриевич                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Остаточные напряжения на интерфейсе пленка-подложка | Нано- и микросистемная техника | 
| Материал конференции | 
    
    
Наумова А. М.                        МГТУ
    
     Пименов И. Е. Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Формирование в вакууме островковых тонкопленочных покрытий заданной геометрии для устройств микроэлектроники | 
    Вакуумная техника и технология: материалы XII Российской студенческой научно-технической конференции
    
     
        
        2025
        
                                    .-
            С.
151                - 152
                        
     
    
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Сидорова Светлана Владимировна                        МГТУ
    
     Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ Новикова О. В. Кушнарев И. В. Епихин А. А. Гусев Е. Э.  | 
Оценка влияния ионной обработки на величину остаточных механических напряжений в AL2O3/SI | 
    Наноиндустрия
 
    2025
    .-
    
        Т. 18
            ,
        № 2
                .-
        С.
148            - 159
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Сидорова Светлана Владимировна                        МГТУ
    
     Фельде А. А. МГТУ  | 
Сегнетоэлектрический гибкий датчик температуры | Нано- и микросистемная техника | 
| Статья в журнале | 
    
    
Сидорова Светлана Владимировна                        МГТУ
    
     Пименов И. Е. МГТУ Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ Фельде А. А. МГТУ  | 
Формирование в вакууме композиционного слоя с островковыми наноструктурами | Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника | 
| Материал конференции | 
    
    
Щербак Е. С.                        МГТУ
    
     Наумова А. М. МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Способ внедрения островковых тонких пленок в измерительные приборы | 
    Необратимые процессы в природе и технике: сборник статей XIII Всероссийской конференции
    
     
        
        2025
        
                                    .-
            С.
271                - 275
                        
     
    
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Пименов И. Е.            
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Повышение емкости конденсаторов тяговой батареи за счет внедрения островковых тонкопленочных наноструктур | 
    Вестник Казанского государственного технического университета им. А.Н. Туполева
 
    2024
    .-
    
        Т. 80
            ,
        № 2
                .-
        С.
114            - 118
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Сидорова Светлана Владимировна                        МГТУ
    
     Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ Новикова О. В. Кушнарев И. В. Епихин А. А. Гусев Е. Э.  | 
Оценка влияния толщины покрытия на величину остаточных механических напряжений в AL2O3/SI | Наноиндустрия | 
| Статья в журнале | 
    
    
Щербакова В. С.                        МГТУ
    
     Базиненков Алексей Михайлович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ Иванова Д. А. МГТУ  | 
Тонкоплёночные электроды актуаторов на основе диэлектрического эластомера для системы виброизоляции | Вестник Самарского университета. Аэрокосмическая техника, технологии и машиностроение | 
| Статья в журнале | 
    
    
Сидорова Светлана Владимировна                        МГТУ
    
     Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Назаренко М. В., . Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ  | 
Плазменная обработка поверхностей материалов для задач фотоники | Фотоника [Photonics Russia] | 
| Статья в журнале | 
    
    
Андреасян О. Г.                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Апробация модели электрической проводимости островковых тонких пленок | Наноиндустрия | 
| Статья в журнале | 
    
    
Купцов Алексей Дмитриевич                        МГТУ
    
     Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ  | 
Особенности формирования функциональных слоев тонкопленочных датчиков сопротивления | Наноиндустрия | 
| Материал конференции | 
    
    
Ezhova P. A.                        МГТУ
    
     Vasilev D. D. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ  | 
Automatic Control System for the Plasma Processing Unit Multi Plasma Cleaner One | 
    Lecture Notes in Electrical Engineering
    
     
        
        2021
        
            .-
                    Vol. 729 LNEE
                            .-
            С.
61                - 69
                                    
     
    
 | 
            
| Материал конференции | 
    
    
Kouptsov A. D.                        МГТУ
    
     Vasilev D. D. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ  | 
Design of a liquid-phase magnetron sputtering small-sized source for the vacuum coating system MVTU-11-1MS | Journal of Physics: Conference Series | 
| Материал конференции | 
    
    
Sidorova S. V.                        МГТУ
    
     Andreasyan O. G. МГТУ Zhuravleva V. S. МГТУ  | 
Modeling and Visualization Electrical Conductivity of Islet Thin Films | 
    Lecture Notes in Electrical Engineering
    
     
        
        2021
        
            .-
                    Vol. 729
                            .-
            С.
284                - 292
                                    
     
    
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Андреасян О. Г.                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Математическое моделирование электропроводности островковых тонкопленочных наноструктур | Наноиндустрия | 
| Статья в журнале | 
    
    
Гуляева П. С.                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Резистивная память: особенности, принцип действия и модернизация технологии внедрением лабиринтных пленок | Нано- и микросистемная техника | 
| Статья в журнале | 
    
    
Исаева Анна Александровна                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Математическое моделирование электрических и геометрических характеристик островковых наноструктур меди и алюминия на начальных стадиях роста | Наноиндустрия | 
| Статья в журнале | 
    
    
Купцов Алексей Дмитриевич                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Установка УВН-1М: проблемы и модернизация | Наноиндустрия | 
| Материал конференции | 
    
    
Vasilev D. D.                        МГТУ
    
     Moiseev K. M. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ  | 
Automation of the Process of Ultrathin Two-Component Films Deposition from Two Sputtering Sources | 
    Proceedings - 2020 International Russian Automation Conference, RusAutoCon 2020
    
     
        
        2020
        
                                    .-
            С.
856                - 880
                    .- Art.no 9208160
                            
     
    
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Панфилов Юрий Васильевич                        МГТУ
    
     Нестеров Сергей Борисович МГТУ Колесник Леонид Леонидович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Цветков Юрий Борисович МГТУ  | 
Современные тенденции в обучении студентов вакуумной технике и технологиям | 
    Вакуумная техника и технология
 
    2019
    .-
    
        Т. 29
            ,
        № 2
                .-
        С.
14            - 18
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Сидорова Светлана Владимировна                        МГТУ
    
     Дубинин С. А. МГТУ Баклыков Д. А. МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ  | 
Получение тонких пленок TiN и NaCo® на кремнии и исследование их свойств | 
    Вакуумная техника и технология
 
    2019
    .-
    
        Т. 28
            ,
        № 1
                .-
        С.
1            - 5
             
 | 
            
| Материал конференции | 
    
    
Isaeva A. A.                        МГТУ
    
     Sidorova S. V. МГТУ  | 
Mathematical modeling of geometrical and electrical characteristics of island films growth initial stages | 
    Journal of Physics: Conference Series
    
     
        
        2019
        
            .-
                    Vol. 1368
                                    .- Art.no 042077
                            
     
    
 | 
            
| Материал конференции | 
    
    
Panfilov Y. V.                        МГТУ
    
     Nesterov S. B. МГТУ Kolesnik L. L. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Tsvetkov Y. B. МГТУ  | 
Modern trends of student training on vacuum technic and technology | 
    Journal of Physics: Conference Series
    
     
        
        2019
        
            .-
                    Vol. 1313
                ,
            Issue 012043
                            .-
            С.
1                - 5
                    .- Art.no 012043
                
     
    
 | 
            
| Материал конференции | 
    
    
Panfilova E. V.                        МГТУ
    
     Sidorova S. V. МГТУ Shramko D. Y. МГТУ  | 
Application of Neural Network for Forecasting Reliability of Vacuum Equipment | 
    Proceedings - 2019 International Russian Automation Conference, RusAutoCon 2019
    
     
        
        2019
        
                                            .- Art.no 8867815
                            
     
    
 | 
            
| Материал конференции | 
    
    
Sidorova S. V.                        МГТУ
    
     | 
Development and modeling of online-course "physical and chemicals basis of nanotechnology" | 
    AIP Conference Proceedings
    
     
        
        2019
        
            .-
                    Vol. 2195
                                    .- Art.no 020018
                             
    
DOI: 10.1063/1.5140118
 
     | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Нехорошева В. С.                        МГТУ
    
     Казакова Ю. В. МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Формирование наноструктурированных покрытий методом термического испарения в вакууме | 
    Физика для школьников
 
    2018
    .-
    
        № 3
                .-
        С.
42            - 48
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Панфилов Юрий Васильевич                        МГТУ
    
     Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Колесник Леонид Леонидович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Реализация удаленного доступа к вакуумному технологическому оборудованию | 
    Вакуумная техника и технология
 
    2018
    .-
    
        Т. 28
            ,
        № 1
                .-
        С.
22            - 27
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Колесник Леонид Леонидович                        МГТУ
    
     Моисеев Константин Михайлович МГТУ Панфилов Юрий Васильевич МГТУ Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме | 
    Наноиндустрия
 
    2017
    .-
    
        № 6 (77)
                .-
        С.
76            - 82
                    
 
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Колесник Леонид Леонидович                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Реализация удаленного доступа к технологическому комплексу формирования островковых тонких пленок | 
    Наноиндустрия
 
    2016
    .-
    
        № 5
                .-
        С.
74            - 85
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Сидорова Светлана Владимировна                        МГТУ
    
     Колесник Леонид Леонидович МГТУ  | 
Моделирование процесса формирования островковых тонких пленок | 
    Наноиндустрия
 
    2016
    .-
    
        № 3
                .-
        С.
64            - 71
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Панфилов Юрий Васильевич                        МГТУ
    
     Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Нанотехнологическая вакуумная установка модульного типа | 
    Наноинженерия
 
    2014
    .-
    
        № 8
                .-
        С.
14            - 17
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Панфилов Юрий Васильевич                        МГТУ
    
     Колесник Леонид Леонидович МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Евлампьев А. Н. МГТУ  | 
Вакуумная установка настольного типа для обучения студентов и проведения научных исследований | 
    Вакуумная техника и технология
 
    2012
    .-
    
        Т. 22
            ,
        № 2
                .-
        С.
119            - 122
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Панфилов Юрий Васильевич                        МГТУ
    
     Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Колесник Леонид Леонидович МГТУ Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ  | 
Интерактивный учебно-научный комплекс для выполнения работ по формированию наноструктурированных тонкопленочных покрытий | 
    Наноинженерия
 
    2012
    .-
    
        № 3
                .-
        С.
31            - 37
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Панфилов Юрий Васильевич                        МГТУ
    
     Волчкевич Леонид Иванович МГТУ Булыгина Екатерина Вадимовна МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ  | 
Научная работа студентов в лаборатории ионно-плазменных процессов и нанотехнологии | 
    Наноинженерия
 
    2012
    .-
    
        № 2
                .-
        С.
44            - 48
             
 | 
            
| Статья в журнале | 
    
    
Сидорова Светлана Владимировна                        МГТУ
    
     Панфилов Юрий Васильевич МГТУ  | 
Контроль роста островковых наноструктур в вакууме | 
    Наноинженерия
 
    2012
    .-
    
        № 9
                .-
        С.
8            - 11
             
 |