Сидорова Светлана Владимировна
Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
---|---|---|---|
Статья в журнале |
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ Назаренко М. В., . Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ |
Плазменная обработка поверхностей материалов для задач фотоники | Фотоника [Photonics Russia] |
Статья в журнале |
Андреасян О. Г. МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Апробация модели электрической проводимости островковых тонких пленок | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ |
Особенности формирования функциональных слоев тонкопленочных датчиков сопротивления | Наноиндустрия |
Материал конференции |
Ezhova P. A. МГТУ
Vasilev D. D. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Automatic Control System for the Plasma Processing Unit Multi Plasma Cleaner One |
Lecture Notes in Electrical Engineering
2021
.-
Vol. 729 LNEE
.-
С.
61 - 69
|
Материал конференции |
Kouptsov A. D. МГТУ
Vasilev D. D. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Design of a liquid-phase magnetron sputtering small-sized source for the vacuum coating system MVTU-11-1MS | Journal of Physics: Conference Series |
Материал конференции |
Sidorova S. V. МГТУ
Andreasyan O. G. МГТУ Zhuravleva V. S. МГТУ |
Modeling and Visualization Electrical Conductivity of Islet Thin Films |
Lecture Notes in Electrical Engineering
2021
.-
Vol. 729
.-
С.
284 - 292
|
Статья в журнале |
Андреасян О. Г. МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Математическое моделирование электропроводности островковых тонкопленочных наноструктур | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Гуляева П. С. МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Резистивная память: особенности, принцип действия и модернизация технологии внедрением лабиринтных пленок | Нано- и микросистемная техника |
Статья в журнале |
Исаева Анна Александровна МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Математическое моделирование электрических и геометрических характеристик островковых наноструктур меди и алюминия на начальных стадиях роста | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Установка УВН-1М: проблемы и модернизация | Наноиндустрия |
Материал конференции |
Vasilev D. D. МГТУ
Moiseev K. M. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ |
Automation of the Process of Ultrathin Two-Component Films Deposition from Two Sputtering Sources |
Proceedings - 2020 International Russian Automation Conference, RusAutoCon 2020
2020
.-
С.
856 - 880
.- Art.no 9208160
|
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Нестеров Сергей Борисович МГТУ Колесник Леонид Леонидович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Цветков Юрий Борисович МГТУ |
Современные тенденции в обучении студентов вакуумной технике и технологиям |
Вакуумная техника и технология
2019
.-
Т. 29
,
№ 2
.-
С.
14 - 18
|
Статья в журнале |
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Дубинин С. А. МГТУ Баклыков Д. А. МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Получение тонких пленок TiN и NaCo® на кремнии и исследование их свойств |
Вакуумная техника и технология
2019
.-
Т. 28
,
№ 1
.-
С.
1 - 5
|
Материал конференции |
Isaeva A. A. МГТУ
Sidorova S. V. МГТУ |
Mathematical modeling of geometrical and electrical characteristics of island films growth initial stages |
Journal of Physics: Conference Series
2019
.-
Vol. 1368
.- Art.no 042077
|
Материал конференции |
Panfilov Y. V. МГТУ
Nesterov S. B. МГТУ Kolesnik L. L. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Tsvetkov Y. B. МГТУ |
Modern trends of student training on vacuum technic and technology |
Journal of Physics: Conference Series
2019
.-
Vol. 1313
,
Issue 012043
.-
С.
1 - 5
.- Art.no 012043
|
Материал конференции |
Panfilova E. V. МГТУ
Sidorova S. V. МГТУ Shramko D. Y. МГТУ |
Application of Neural Network for Forecasting Reliability of Vacuum Equipment |
Proceedings - 2019 International Russian Automation Conference, RusAutoCon 2019
2019
.- Art.no 8867815
|
Материал конференции |
Sidorova S. V. МГТУ
|
Development and modeling of online-course "physical and chemicals basis of nanotechnology" |
AIP Conference Proceedings
2019
.-
Vol. 2195
.- Art.no 020018
DOI: 10.1063/1.5140118
|
Статья в журнале |
Нехорошева В. С. МГТУ
Казакова Ю. В. МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Формирование наноструктурированных покрытий методом термического испарения в вакууме |
Физика для школьников
2018
.-
№ 3
.-
С.
42 - 48
|
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Колесник Леонид Леонидович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Реализация удаленного доступа к вакуумному технологическому оборудованию |
Вакуумная техника и технология
2018
.-
Т. 28
,
№ 1
.-
С.
22 - 27
|
Статья в журнале |
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ Панфилов Юрий Васильевич МГТУ Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме |
Наноиндустрия
2017
.-
№ 6 (77)
.-
С.
76 - 82
|
Статья в журнале |
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Реализация удаленного доступа к технологическому комплексу формирования островковых тонких пленок |
Наноиндустрия
2016
.-
№ 5
.-
С.
74 - 85
|
Статья в журнале |
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ |
Моделирование процесса формирования островковых тонких пленок |
Наноиндустрия
2016
.-
№ 3
.-
С.
64 - 71
|
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Нанотехнологическая вакуумная установка модульного типа |
Наноинженерия
2014
.-
№ 8
.-
С.
14 - 17
|
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Колесник Леонид Леонидович МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Евлампьев А. Н. МГТУ |
Вакуумная установка настольного типа для обучения студентов и проведения научных исследований |
Вакуумная техника и технология
2012
.-
Т. 22
,
№ 2
.-
С.
119 - 122
|
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Колесник Леонид Леонидович МГТУ Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Интерактивный учебно-научный комплекс для выполнения работ по формированию наноструктурированных тонкопленочных покрытий |
Наноинженерия
2012
.-
№ 3
.-
С.
31 - 37
|
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Волчкевич Леонид Иванович МГТУ Булыгина Екатерина Вадимовна МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Научная работа студентов в лаборатории ионно-плазменных процессов и нанотехнологии |
Наноинженерия
2012
.-
№ 2
.-
С.
44 - 48
|
Статья в журнале |
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ |
Контроль роста островковых наноструктур в вакууме |
Наноинженерия
2012
.-
№ 9
.-
С.
8 - 11
|