Рябов Владимир Тимофеевич
Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
---|---|---|---|
Статья в журнале |
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
Дюжев Н. А. |
Исследование теплового мэмс-сенсора массового расхода газа | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
|
Концепция комплексной параллельной разработки механических, электронных и программных компонентов вакуумного технологического оборудования | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Djuzhev N. A.
Ryabov V. T. МГТУ Demin G. D. Makhiboroda M. A. Evsikov I. D. Pozdnyakov M. M. Bespalov V. A. |
Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of MEMS-based thermoresistive flow-rate sensors |
Sensors and Actuators, A: Physical
2021
.-
Vol. 330
.- Art.no 112832
|
Статья в журнале |
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
|
Инструментальные средства программирования систем управления вакуумным технологическим оборудованием | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Колесник Леонид Леонидович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Реализация удаленного доступа к вакуумному технологическому оборудованию |
Вакуумная техника и технология
2018
.-
Т. 28
,
№ 1
.-
С.
22 - 27
|
Статья в журнале |
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ
Дюжев Н. А. Новиков Д. В. |
Автоматизация процесса измерения параметров чувствительных элементов датчиков расхода газов |
Известия высших учебных заведений. Электроника
2018
.-
Т. 23
,
№ 1
.-
С.
62 - 71
|
Материал конференции |
Djuzhev N. A.
Novikov D. V. Demin G. D. Ovodov A. I. Ryabov V. T. МГТУ |
An experimental study on MEMS-based gas flow sensor for wide range flow measurements |
2018 IEEE Sensors Applications Symposium, SAS 2018 - Proceedings
2018
.-
Vol. 2018-January
.-
С.
1 - 4
|
Статья в журнале |
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ Панфилов Юрий Васильевич МГТУ Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Лабораторный комплекс с удаленным доступом для нанесения тонких пленок в вакууме |
Наноиндустрия
2017
.-
№ 6 (77)
.-
С.
76 - 82
|
Статья в журнале |
Жуков Владимир Викторович МГТУ
Степанов Степан Александрович МГТУ Бычков Сергей Павлович МГТУ Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ |
Разработка системы регенерации абразивного материала для установок резки маскированных кремниевых пластин |
Сборка в машиностроении, приборостроении
2016
.-
№ 11
.-
С.
24 - 28
|
Статья в журнале |
Боброва Юлия Сергеевна МГТУ
Бычков Сергей Павлович МГТУ Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ |
Олимпиада "Шаг в будущее, Москва" как инструмент подготовки и средство профориентации школьников, поступающих на кафедру "Электронные технологии в машиностроении" (МТ-11) МГТУ им. Н.Э. Баумана |
Наноинженерия
2015
.-
№ 3
.-
С.
15 - 26
|
Статья в журнале |
Куликов Игорь Николаевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Шубников А. В. |
Исследование структурных схем полуфабрикатов в кластерном технологическом оборудовании в полупроводниковом производстве |
Наноинженерия
2014
.-
№ 11
.-
С.
28 - 35
|
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Нанотехнологическая вакуумная установка модульного типа |
Наноинженерия
2014
.-
№ 8
.-
С.
14 - 17
|
Статья в журнале |
Синев Л. С.
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ |
Расчет коэффициентных напряжений в соединениях кремния со стеклом |
Нано- и микросистемная техника
2014
.-
№ 9
.-
С.
32 - 37
|
Статья в журнале |
Куликов Игорь Николаевич МГТУ
Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Шубников А. В. |
Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве |
Наноинженерия
2013
.-
№ 9
.-
С.
3 - 6
|
Статья в журнале |
Панфилов Юрий Васильевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Колесник Леонид Леонидович МГТУ Рябов Владимир Тимофеевич МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ |
Интерактивный учебно-научный комплекс для выполнения работ по формированию наноструктурированных тонкопленочных покрытий |
Наноинженерия
2012
.-
№ 3
.-
С.
31 - 37
|