Васильев Денис Дмитриевич

Тип публикации	Авторы	Заглавие	Издание, год, номер, страницы
Статья в журнале	Богачёв Максим Андреевич ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Моисеев К. М. ^МГТУ Назаренко М. В.	Обработка оптических кристаллов и светодиодов в плазме тлеющего разряда	Фотоника [Photonics Russia] 2023 .- Т. 17 , № 2 .- С. 108 - 112 DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2023.17.2.108.112
Статья в журнале	Желтиков В. А. ^МГТУ Платонов Д. Д. ^МГТУ Хыдырова Селби ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ	Обзор сверхпроводниковых микрополосковых однофотонных детекторов	Фотоника [Photonics Russia] 2022 .- Т. 16 , № 7 .- С. 528 - 537 DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2022.16.7.528.537
Статья в журнале	Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Михайлова И. В. Воробьев И.	Разработка систем плазменной обработки изделий микро- и наноэлектроники	Технологии в электронной промышленности 2022 .- № 1 (133) .- С. 56 - 59
Статья в журнале	Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Михайлова Ирина Валерьевна ^МГТУ Воробьев И. А.	Разработка систем плазменной обработки изделий оптики и электроники	Фотоника [Photonics Russia] 2022 .- Т. 16 , № 2 .- С. 136 - 141 DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2022.16.2.136.140
Статья в журнале	Сидорова Светлана Владимировна ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Назаренко М. В., . Михайлова Ирина Валерьевна ^МГТУ	Плазменная обработка поверхностей материалов для задач фотоники	Фотоника [Photonics Russia] 2022 .- Т. 16 , № 4 .- С. 288 - 295 DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2022.16.4.288.295
Статья в журнале	Хыдырова Селби Юсуповна ^МГТУ Михайлова Ирина Валерьевна ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ Барков К. А. Ивков С. А. Буйлов Н. С. Керсновский Е. С.	Исследование структуры и электрических свойств нанокомпозитных пленок WxSI1-x	Физика твердого тела 2022 .- Т. 64 , № 9 .- С. 1176 - 1179 DOI: 10.21883/FTT.2022.09.52802.08HH
Материал конференции	Vasilev D. D. ^МГТУ Mikhaylova I. V. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ	Modeling of spatial ion scattering from the grid ion source	AIP Conference Proceedings 2022 .- Vol. 2383 .- Art.no 02009 DOI: 10.1063/5.0074600
Статья в журнале	Купцов Алексей Дмитриевич ^МГТУ Михайлова Ирина Валерьевна ^МГТУ Сидорова Светлана Владимировна ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ	Особенности формирования функциональных слоев тонкопленочных датчиков сопротивления	Наноиндустрия 2021 .- Т. 14 , № S6 .- С. 271 - 279 DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.6s.271.279
Статья в журнале	Хыдырова С. Ю. ^МГТУ Степанов Илья Александрович ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ	Оценка характеристик однофотонного детектора в зависимости от параметров сверхпроводящей пленки WXSI1-X	Физика твердого тела 2021 .- Т. 63 , № 9 .- С. 1372 - 1375 DOI: 10.21883/FTT.2021.09.51268.29H
Материал конференции	Ezhova P. A. ^МГТУ Vasilev D. D. ^МГТУ Sidorova S. V. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ	Automatic Control System for the Plasma Processing Unit Multi Plasma Cleaner One	Lecture Notes in Electrical Engineering 2021 .- Vol. 729 LNEE .- С. 61 - 69 DOI: 10.1007/978-3-030-71119-1_7
Статья в журнале	Hydyrova S. Y. ^МГТУ Stepanov I. A. ^МГТУ Vasilev D. D. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ	Evaluation of the Single-Photon Detector Characteristics Depending on the Parameters of a WxSi1–x Superconducting Film	Physics of the Solid State 2021 .- Vol. 63 , Issue 9 .- С. 1410 - 1413 DOI: 10.1134/S106378342109016X
Материал конференции	Kouptsov A. D. ^МГТУ Vasilev D. D. ^МГТУ Sidorova S. V. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ	Design of a liquid-phase magnetron sputtering small-sized source for the vacuum coating system MVTU-11-1MS	Journal of Physics: Conference Series 2021 .- Vol. 1799 , Issue 1 .- Art.no 012016 DOI: 10.1088/1742-6596/1799/1/012016
Статья в журнале	Михайлова Ирина Валерьевна ^МГТУ Мамонтова В. А. ^МГТУ Хыдырова С. ^МГТУ Акишин М. Ю. ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ	Разработка магнетронной распылительной системы с двумя источниками для формирования ультратонких покрытий WSI для SNSPD	Наноиндустрия 2020 .- Т. 13 , № S2 .- С. 39 - 46 DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2s.39.46
Статья в журнале	Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Хыдырова С. ^МГТУ Михайлова Ирина Валерьевна ^МГТУ	Исследование равномерности состава двухкомпонентной пленки WxSi1-x по толщине при магнетронном распылении из двух источников	Наукоемкие технологии 2020 .- Т. 21 , № 9 .- С. 15 - 21 DOI: 10.18127/j19998465-202009-02
Статья в журнале	Павленко Артем Дмитриевич ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ	Разработка малогабаритной установки плазменной нч обработки MPC One	Наноиндустрия 2020 .- Т. 13 , № S2 .- С. 370 - 381 DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.2s.370.381
Материал конференции	Antipov A. V. Seleznev V. A. Vakhtomin Yu. B. Morozov P. V. Vasilev D. D. ^МГТУ Malevannaya E. I. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ Smirnov K. V.	Investigation of WSi and NbN superconducting single-photon detectors in mid-IR range	IOP Conference Series 2020 .- Vol. 781 , Issue 1 : 012011 DOI: 10.1088/1757-899X/781/1/012011
Материал конференции	Hydyrova S. Yu. ^МГТУ Akishin M. Yu. ^МГТУ Vasilev D. D. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ	Providing of Ultra-Thin Film Thickness Uniformity by Magnetron Sputtering from Two Sources	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering 2020 .- Vol. 781 , Issue 1 .- Art.no 012012 DOI: 10.1088/1757-899X/781/1/012012
Материал конференции	Vasilev D. D. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ Sidorova S. V. ^МГТУ	Automation of the Process of Ultrathin Two-Component Films Deposition from Two Sputtering Sources	Proceedings - 2020 International Russian Automation Conference, RusAutoCon 2020 2020 .- С. 856 - 880 .- Art.no 9208160 DOI: 10.1109/RusAutoCon49822.2020.9208160
Материал конференции	Vasilev D. D. ^МГТУ Malevannaya E. I. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ Zolotov P. I. Antipov A. V. Vakhtomin Y. B. Smirnov K. V.	Influence of Deposited Material Energy on Superconducting Properties of the WSi Films	IOP Conference Series 2020 .- Vol. 781 , Issue 1 : Materials Science and Engineering .- Art.no 012013 DOI: 10.1088/1757-899X/781/1/012013
Материал конференции	Moiseev K. M. ^МГТУ Vasilev D. D. ^МГТУ Hydyrova S. Yu. ^МГТУ	Simulation of the cut-off wavelength of superconducting single-photon detectors based on WSi thin films for systems for optical space communications	AIP Conference Proceedings 2019 .- Т. 2171 .- Art.no 110012 https://aip.scitation.org…bs/10.1063/1.5133246 DOI: 10.1063/1.5133246
Материал конференции	Khramova A. A. ^МГТУ Matanin A. R. ^МГТУ Polin D. A. ^МГТУ Vasilev D. D. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ	Investigation of a small-sized source parameters for magnetron sputtering with liquid-phase target	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering 2018 .- Vol. 387 , Issue 1 .- Art.no 012033 DOI: 10.1088/1757-899X/387/1/012033
Статья в журнале	Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ	Расчет движения подложки для повышения равномерности покрытий в установках с планарными цилиндрическими магнетронами	Нано- и микросистемная техника 2017 .- Т. 19 , № 10 .- С. 579 - 587 DOI: 10.17587/nmst.19.579-587
Статья в журнале	Макарова Ю. С. ^МГТУ Малеванная Е. И. ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ	Технология ионно-лучевой очистки стеклянных подложек для изделий электронной техники	Молодежный научно-технический вестник 2017 .- № 7 http://sntbul.bmstu.ru/doc/859085.html
Статья в журнале	Vasilev D. D. ^МГТУ Malevannaya E. I. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ	Vacuum coating system for deposition of superconducting Wx Si(1–x) ultrathin films used in single photon detectors	Journal of Physics: Conference Series 2017 .- Vol. 872 , Issue 1 .- С. 1 - 5 DOI: 10.1088/1742-6596/872/1/012027
Статья в журнале	Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ Моисеев Константин Михайлович ^МГТУ	Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М	Упрочняющие технологии и покрытия 2016 .- № 4 .- С. 20 - 24
Статья в журнале	Макарова Ю. С. ^МГТУ Васильев Денис Дмитриевич ^МГТУ	Технология жидкостной очистки подложек для изделий электронной техники	Молодежный научно-технический вестник 2016 .- № 11 http://sntbul.bmstu.ru/doc/852218.html
Статья в журнале	Seleznev V. A. Divochiy A. V. Vakhtomin Yu. B. Morozov P. V. Zolotov P. I. Vasilev D. D. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ Malevannaya E. I. ^МГТУ Smirnov K. V.	Superconducting detector of IR single-photons based on thin WSi films	Journal of Physics: Conference Series 2016 .- Vol. 737 , Issue 1 .- Art.no 012032 DOI: DOI:10.1088/1742-6596/737/1/012032
Статья в журнале	Vasilev D. D. ^МГТУ Moiseev K. M. ^МГТУ	Influence of the planar cylindrical target erosion zone of magnetron sputtering on the uniformity of a thin-film coating	Journal of Physics: Conference Series 2015 .- Vol. 584 , No 1 .- Art.no 012012 DOI: 10.1088/1742-6596/584/1/012012

Картотека публикаций авторов МГТУ им. Н.Э. Баумана

Васильев Денис Дмитриевич