Купцов Алексей Дмитриевич

Тип публикации Авторы Заглавие Издание, год, номер, страницы
Статья в журнале Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Моисеев Константин Михайлович МГТУ
Васильев Денис Дмитриевич МГТУ
Особенности формирования функциональных слоев тонкопленочных датчиков сопротивления Наноиндустрия
2021 .- Т. 14 , № S6 .- С. 271 - 279
Материал конференции Kouptsov A. D. МГТУ
Vasilev D. D. МГТУ
Sidorova S. V. МГТУ
Moiseev K. M. МГТУ
Design of a liquid-phase magnetron sputtering small-sized source for the vacuum coating system MVTU-11-1MS Journal of Physics: Conference Series
2021 .- Vol. 1799 , Issue 1 .- Art.no 012016
Статья в журнале Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Установка УВН-1М: проблемы и модернизация Наноиндустрия
2020 .- Т. 13 , № S2 .- С. 114 - 121