Купцов Алексей Дмитриевич
Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
---|---|---|---|
Статья в журнале |
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ
Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ Новикова О. В. Кушнарев И. В. Епихин А. А. Гусев Е. Э. |
Оценка влияния толщины покрытия на величину остаточных механических напряжений в AL2O3/SI | Наноиндустрия |
Статья в журнале |
Щербакова В. С. МГТУ
Базиненков Алексей Михайлович МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ Иванова Д. А. МГТУ |
Тонкоплёночные электроды актуаторов на основе диэлектрического эластомера для системы виброизоляции | Вестник Самарского университета. Аэрокосмическая техника, технологии и машиностроение |
Статья в журнале |
Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ
Михайлова Ирина Валерьевна МГТУ Сидорова Светлана Владимировна МГТУ Моисеев Константин Михайлович МГТУ Васильев Денис Дмитриевич МГТУ |
Особенности формирования функциональных слоев тонкопленочных датчиков сопротивления | Наноиндустрия |
Материал конференции |
Kouptsov A. D. МГТУ
Vasilev D. D. МГТУ Sidorova S. V. МГТУ Moiseev K. M. МГТУ |
Design of a liquid-phase magnetron sputtering small-sized source for the vacuum coating system MVTU-11-1MS | Journal of Physics: Conference Series |
Статья в журнале |
Купцов Алексей Дмитриевич МГТУ
Сидорова Светлана Владимировна МГТУ |
Установка УВН-1М: проблемы и модернизация | Наноиндустрия |