Расширенный поиск

Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П.
   Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие для спо / Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П. ; ред. Дерябина В. А. - Профобразование, Уральский федеральный университет, 2024. - ISBN 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8.

Валиев К. А.
   Физика субмикронной литографии / Валиев К. А. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : рис. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-014381-2.

   Микроструктурирование тонких плёнок : сборник статей / Академия наук СССР, Физико-технологический институт. - М. : Наука, 1991. - 110 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 2). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006817-9.

Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П.
   Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие / Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П. - Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ, 2014. - ISBN 978-5-7996-1110-1.