Расширенный поиск

Васильев В. Ю.
   Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем : учебное пособие / Васильев В. Ю. - Новосибирский государственный технический университет, 2023. - ISBN 978-5-7782-4926-4.

   Моделирование роста и легирования полупроводниковых плёнок методом Монте-Карло : монография / Александров Л. Н., Бочкова Р. В., Коган А. Н., Тихонова Н. П. ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; отв. ред. Стенин С. И. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1991. - 165 с. : ил. - Библиогр.: с. 150-162. - ISBN 5-02-029696-1.

Липатов Г. И.
   Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г. И. - Ай Пи Ар Медиа, 2021. - ISBN 978-5-4497-1207-3.

   Металлооксидные пленки: ионно-лучевое формирование, свойства и применение / Стогний А. И., Новицкий Н. Н., Шарко С. А. [и др.]. - Белорусская наука, 2025. - ISBN 978-985-08-3257-3.

Грехов А. М., Еремин Ю. С., Хазеева Э. Р.
   Исследование оптических свойств наноразмерных структур в жидкостях и полимерных пленках : учебно-методическое пособие / Грехов А. М., Еремин Ю. С., Хазеева Э. Р. - Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», 2025. - ISBN 978-5-7262-3150-1.

Васильев В. Ю.
   Технологии формирования изолирующих областей интегральных микросхем с использованием тонких диэлектрических пленок : учебное пособие / Васильев В. Ю. - Новосибирский государственный технический университет, 2025. - ISBN 978-5-7782-5365-0.

Румак Н. В., Хатько В. В.
   Диэлектрические плёнки в твёрдотельной микроэлектронике / Румак Н. В., Хатько В. В. ; ред. Борисенко В. Е. ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190 с. : ил. - Библиогр.: с. 181-189. - ISBN 5-343-00540-3.

Туев В. И.
   Аддитивные технологии производства устройств радиоэлектроники : учебное пособие / Туев В. И. - Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2020.

   Быстродействующий однофотонный детектор на основе тонкой сверхпроводниковой пленки NbN : монография / Минаева О. В., Окунев О. В., Чулкова Г. М. [и др.]. - Прометей, 2013. - ISBN 978-5-7042-2475-4.

Жукова, Л. В.  Материалы микро- и оптоэлектроники: кристаллы и световоды : учебник для вузов / Л. В. Жукова, А. С. Корсаков, Д. С. Врублевский ; под научной редакцией Б. В. Шульгина. — Москва : Издательство Юрайт, 2025. — 279 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-01703-8.