Расширенный поиск

Семёнов А. П.
   Техника распыления ионными пучками / Семёнов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.: с.106-118. - ISBN 5-7623-1110-4.

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05.13.07 : 05.27.07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - Москва, 1995. - 32 л. - Библиогр.: л.30-32.

   Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике: материалы XX междунар. симпозиума (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана,6-8 сентября 2007 г.) / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2007. - 459 с. : ил. - ISBN 5-902740-04-5.

Дубровский В. Г.
   Теория формирования эпитаксиальных наноструктур / Дубровский В. Г. - Москва : Физматлит, 2009. - 350 с. : ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр.: с.338-350. - ISBN 978-5-9221-1069-3.

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. науч. -техн. конф., Москва, 11-13 сентября 2008 г. Тонкие пленки в электронике : матералы XXI Междунар. симп., Москва, 11-13 сентября 2008 г. / Центральный научно-исследовательский технологический институт. - Москва : Изд-во ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2008. - 501 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-11-7.

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и нанофотоники): материалы XV Междунар. научно-техн. конференции, Москва,9-11 сентября 2009 г. Тонкие пленки в электронике : материалы XXII Междунар. симпозиума, Москва,9-11 сентября 2009 г. : сборник / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш". - Москва : ЦНИТИ "Техномаш", 2009. - 535 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-19-3.

   Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии : учеб. пособие / Шашурин В. Д., Малышев К. В., Мешков С. А. [и др.] ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 42 с. : ил. - Библиогр.: с.41.

   Высокие технологии в пром-сти России (Материалы и устройства функциональной электрон. и микрофотоники): материалы XVI Междунар. науч.-техн. конф., Москва,9-11 сентября 2010 г. Тонкие пленки в электрон. : материалы XXIII Междунар. симп., Москва,9-11 сентября 2010 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2010. - 465 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-14-8.

   Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVIII Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике: материалы XXV Междунар. симп. Наноинженерия : материалы V Междунар. научно-техн. конф., Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана,6-8 сентября 2012 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2012. - 457 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-18-6.

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVII междунар. научно-техн. конф., Москва,8-10 сентября 2011 г. Тонкие пленки в электронике: материалы XXIV междунар. симп., Москва,8-10 сентября 2011 г. Наноинженерия: материалы IV междунар. научно-техн. конф. Москва,8-10 сентября 2011 г. : сборник / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш". - Москва : Изд-во ОАО ЦНИТИ "Техмаш", 2011. - 528 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-16-2.