62 записи
Статья
Нестеров С. Б.
М. В. Ломоносов и вакумная техника / Нестеров С. Б. // Вакуумная техника и технология. - 2012. - Т. 22, № 4. -С. 189-190 .
М. В. Ломоносов и вакумная техника / Нестеров С. Б. // Вакуумная техника и технология. - 2012. - Т. 22, № 4. -
Статья
Никулин Н. К., Свичкарь Е. В.
Исследование радиальных деформаций ротора молекулярно-вязкостного вакуумного насоса при различных режимах работы насоса / Никулин Н. К., Свичкарь Е. В. // Машиностроитель. - 2015. - № 1. -С. 19-25 .
Исследование радиальных деформаций ротора молекулярно-вязкостного вакуумного насоса при различных режимах работы насоса / Никулин Н. К., Свичкарь Е. В. // Машиностроитель. - 2015. - № 1. -
Статья
Никулин Н. К., Серяков А. С.
Статистическое моделирование процесса перехода молекул газа через межлопаточный канал рабочего колеса турбомолекулярного насоса / Никулин Н. К., Серяков А. С. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2011. - Спец. вып. Вакуумные и компрессорные машины. -С. 33-40 .
Статистическое моделирование процесса перехода молекул газа через межлопаточный канал рабочего колеса турбомолекулярного насоса / Никулин Н. К., Серяков А. С. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2011. - Спец. вып. Вакуумные и компрессорные машины. -
Статья
Никулин Н. К., Шемарова О. А.
Исследование течения газа в канале при направленном движении потока пара металла методом пробной частицы / Никулин Н. К., Шемарова О. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2011. - Спец. вып. Вакуумные и компрессорные машины. -С. 41-52 .
Исследование течения газа в канале при направленном движении потока пара металла методом пробной частицы / Никулин Н. К., Шемарова О. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2011. - Спец. вып. Вакуумные и компрессорные машины. -
Автореферат диссертации
Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.
Диссертация
Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.:л. 30-32 .
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.:
Статья
Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
Вакуумное технологическое оборудование заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. -С. 228-232 .
Вакуумное технологическое оборудование заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. -
Статья
Определение углеродного потенциала и коэффициента массопереноса углерода при вакуумной цементации сталей / Семенов М. Ю., Смирнов А. Е., Фомина Л. П., Абсаттаров Салохиддин Нуритдин-Угли // Металловедение и термическая обработка металлов. - 2024. - № 1. - С. 8-13 .
Статья
Панфилов Ю. В.
Вакуумные технологии в производстве наноструктурированных материалов / Панфилов Ю. В. // Вакуумная техника и технология. - 2011. - Т. 21, № 2. -С. 74-75 .
Вакуумные технологии в производстве наноструктурированных материалов / Панфилов Ю. В. // Вакуумная техника и технология. - 2011. - Т. 21, № 2. -
Статья
Панфилов Ю. В.
Инженерные нанотехнологии в области вакуумной техники / Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. -С. 119-121 .
Инженерные нанотехнологии в области вакуумной техники / Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. -