Личный кабинет
130 записей
Васильев Д. Д.
Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 157 л. : ил. - Библиогр.:л. 146-157 .
Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 157 л. : ил. - Библиогр.:
1 экз.
Васильев Д. Д.
Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 16 с.
Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 16 с.
2 экз.
Чжо Зин Пьо
Формирование плёнок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Чжо Зин Пьо ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 16 с.
Формирование плёнок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Чжо Зин Пьо ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 16 с.
2 экз.
Берлин Е. В., Сейдман Л. А.
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Е. В., Сейдман Л. А. - 2-е изд., испр. и доп. - М. : URSS : Ленанд, 2022. - 316 с. : рис., табл. - Библиогр.:с. 304-316 . - ISBN 978-5-9710-9680-1 .
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Е. В., Сейдман Л. А. - 2-е изд., испр. и доп. - М. : URSS : Ленанд, 2022. - 316 с. : рис., табл. - Библиогр.:
1 экз.
Автореферат диссертации
Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.
1 экз.
Беляева А. И., Сиренко В. А.
Криогенные многослойные покрытия : монография / Беляева А. И., Сиренко В. А. ; Академия наук Украины, Физико-технический институт низких температур ; отв. ред. Веркин Б. И. - Киев : Наукова думка, 1991. - 275 с. : рис., табл. - Библиогр.:с. 261-273 . - ISBN 5-12-002334-7 .
Криогенные многослойные покрытия : монография / Беляева А. И., Сиренко В. А. ; Академия наук Украины, Физико-технический институт низких температур ; отв. ред. Веркин Б. И. - Киев : Наукова думка, 1991. - 275 с. : рис., табл. - Библиогр.:
3 экз.
Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В.
Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. - М. : Радио и связь, 1995. - 175 с. : ил. - Библиогр.:с. 171-175 . - ISBN 5-256-00577-4 .
Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. - М. : Радио и связь, 1995. - 175 с. : ил. - Библиогр.:
1 экз.
Семенов А. П.
Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.:с. 106-118 . - ISBN 5-7623-1110-4 .
Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.:
2 экз.
Диссертация
Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.:л. 30-32 .
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.:
1 экз.
Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике: материалы XX междунар. симпозиума (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 6-8 сентября 2007 г.) / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2007. - 459 с. : ил. - ISBN 5-902740-04-5 .
1 экз.
