Расширенный поиск

   Проблемы субмикронной технологии / Российская академия наук ; отв. ред. тома Орликовский А. А. - М. : Наука, 1993. - 111 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 6). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006991-4.

   Субмикронные технологии : сборник статей / Российская академия наук ; отв. ред. Репин В. Н. - М. : Наука, 1995. - 76 с. : рис., табл. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 9). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-000831-1.

Родионов Ю. А.
   Производство гибридных интегральных схем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2020. - 298 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 298. - ISBN 978-5-9729-0460-0.

Ланина Э. П.
   Современные технологии производства интегральных схем : учебное пособие для вузов / Ланина Э. П. - Старый Оскол : ТНТ, 2020. - 310 с. : ил. - Библиогр.: с. 309-310. - ISBN 978-5-94178-646-6.

Родионов Ю. А.
   Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - СПб. : Лань, 2021. - 218 с. : ил. - (Высшее образование). - ISBN 978-5-8114-5788-5.

Пархутик В. П., Лабунов В. А.
   Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике / Пархутик В. П., Лабунов В. А. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 279 с. : рис., граф. - Библиогр.: с. 252-276. - ISBN 5-343-00522-5.

Валиев К. А.
   Физика субмикронной литографии / Валиев К. А. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : рис. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-014381-2.

Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г.
   Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г. - М. : Радио и связь, 2001. - 631 с. : ил. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3.

   Сверхбольшие интегральные схемы и современная обработка сигналов : пер. с англ. / ред. Гун С., Уайтхаус Х., Кайлат Т. ; ред. пер. Лексаченко В. А. - М. : Радио и связь, 1989. - 471 с. - ISBN 5-256-00179-5.

Румак Н. В., Хатько В. В.
   Диэлектрические плёнки в твёрдотельной микроэлектронике / Румак Н. В., Хатько В. В. ; ред. Борисенко В. Е. ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190 с. : ил. - Библиогр.: с. 181-189. - ISBN 5-343-00540-3.