Расширенный поиск

Ланина Э. П.
   Современные технологии производства интегральных схем : учебное пособие для вузов / Ланина Э. П. - Старый Оскол : ТНТ, 2020. - 310 с. : ил. - Библиогр.: с. 309-310. - ISBN 978-5-94178-646-6.

Родионов Ю. А.
   Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - СПб. : Лань, 2021. - 218 с. : ил. - (Высшее образование). - ISBN 978-5-8114-5788-5.

Валиев К. А.
   Физика субмикронной литографии / Валиев К. А. - М. : Наука, 1990. - 527 с. - Библиогр. Библиогр.: в конце гл.

Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г.
   Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г. - М. : Радио и связь, 2001. - 631 с. : ил. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3.

   Сверхбольшие интегральные схемы и современная обработка сигналов : пер. с англ. / ред. Гун С., Уайтхаус Х., Кайлат Т. ; ред. пер. Лексаченко В. А. - М. : Радио и связь, 1989. - 471 с. - ISBN 5-256-00179-5.

Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И.
   Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. - Л. : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - Библиогр.: с. 283-286. - ISBN 5-7325-0001-4.

   Проблемы микроэлектронной технологии / Российская Акадамия наук ; отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1994. - 126 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 8). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-007030-0.

   Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская Акадамия наук ; отв. ред. Великов Л. В. - М. : Наука, 1994. - 75 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 7). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-007019-X.

   Микроструктурирование тонких плёнок : сборник статей / Академия наук СССР, Физико-технологический институт. - М. : Наука, 1991. - 110 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 2). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006817-9.

   Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская Акадамия наук ; отв. ред. тома Великов Л. В. - М. : Наука, 1992. - 97 с. : рис., табл. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 4). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006868-3.