Расширенный поиск

Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В.
   Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. - М. : Радио и связь, 1995. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 171-175. - ISBN 5-256-00577-4.

Семенов А. П.
   Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.: с. 106-118. - ISBN 5-7623-1110-4.

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.: л. 30-32.

   Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике: материалы XX междунар. симпозиума (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 6-8 сентября 2007 г.) / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2007. - 459 с. : ил. - ISBN 5-902740-04-5.

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. науч. -техн. конф., Москва, 11-13 сентября 2008 г. Тонкие пленки в электронике : матералы XXI Междунар. симп., Москва, 11-13 сентября 2008 г. / Центральный научно-исследовательский технологический ин-т. - М. : Изд-во ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2008. - 501 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-11-7.

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и нанофотоники): материалы XV Междунар. научно-техн. конференции, Москва, 9-11 сентября 2009 г. Тонкие пленки в электронике : материалы XXII Междунар. симпозиума, Москва, 9-11 сентября 2009 г. : сборник / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш". - М. : ЦНИТИ "Техномаш", 2009. - 535 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-19-3.

   Высокие технологии в пром-сти России (Материалы и устройства функциональной электрон. и микрофотоники): материалы XVI Междунар. науч.-техн. конф., Москва, 9-11 сентября 2010 г. Тонкие пленки в электрон. : материалы XXIII Междунар. симп., Москва, 9-11 сентября 2010 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во ЦНИТИ "ТЕХНОМАШ", 2010. - 465 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-14-8.

   Наноструктурные покрытия / ред. Кавалейро А., Хоссон Д. де ; пер. с англ. Хачоян А. В. ; ред. пер. Андриевский Р. А. - М. : Техносфера, 2011. - 750 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-94836-182-6.

   Структура и свойства нанокомпозитных, гибридных и полимерных покрытий / Погребняк А. Д., Лозован А. А., Кирик Г. В. [и др.]. - М. : ЛИБРОКОМ : URSS, 2011. - 343 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-397-01578-3.

Cushing D.
   Enhanced Optical Filter Design / Cushing D. - Bellingham : SPIE Press, 2011. - 148 p. : ill. - ISBN 978-0-8194-8358-4.