Расширенный поиск

   Моделирование роста и легирования полупроводниковых плёнок методом Монте-Карло : монография / Александров Л. Н., Бочкова Р. В., Коган А. Н., Тихонова Н. П. ; Академия наук СССР, СО, Институт физики полупроводников ; отв. ред. Стенин С. И. - Новосибирск : Наука, СО, 1991. - 165 с. : ил. - Библиогр.: с.150-162. - ISBN 5-02-029696-1.

Жигалина О. М.
   Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.: с.104-108. - ISBN 978-5-7038-4743-5.

Дюбанов В. А.
   Физико-химические основы процесса электрофоретического осаждения фотонно-кристаллических сверхрешёток для изделий оптоэлектроники : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Дюбанов В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2025. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с.17.

Дюбанов В. А.
   Физико-химические основы процесса электрофоретического осаждения фотонно-кристаллических сверхрешёток для изделий оптоэлектроники : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Дюбанов В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2025. - 194 л. : ил. - Библиогр.: л.178-194.

Данилин Б. С.
   Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких плёнок / Данилин Б. С. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 326 с. : рис., табл., граф. - Библиогр.: с.316-324. - ISBN 5-283-03939-0.

Родионов И. А.
   Технологии интегральных устройств квантовой обработки информации : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств : автореф. дис... дтн / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2026. - 32 с. : рис. - Библиогр.: с.28-32.

Родионов И. А.
   Технологии интегральных устройств квантовой обработки информации : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств : дис... дтн / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2026. - 399 л. : рис., табл. - Библиогр.: л.366-399.

Физические методы нанесения нанопокрытий : учебник для вузов / под редакцией В. С. Мухина, С. Р. Шехтмана. — 3-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2026. — 333 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-13807-8.

Материаловедение и технология материалов : учебник для вузов / под редакцией Г. П. Фетисова. — 8-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2026. — 808 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-18111-1.