Расширенный поиск

Берлин Е. В., Сейдман Л.
   Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Берлин Е. В., Сейдман Л. - М. : Техносфера, 2010. - 527 с. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-94836-222-9.

Ройх И. Л., Колтунова Л. Н., Федосов С. Н.
   Нанесение защитных покрытий в вакууме / Ройх И. Л., Колтунова Л. Н., Федосов С. Н. - М. : Машиностроение, 1976. - 366 с.

Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л.
   Нанесение тонких пленок в вакууме : метод. указания к ла. работам по курсам "Основы вакуумной технологии" и "Инженерный практикум" / Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л. ; ред. Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 83 с. : ил. - Библиогр. в конце работ. - ISBN 5-7038-1849-4.

   Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме /Авт.: Костржицкий А. и. и др. / Костржицкий А. И., Карпов В. Ф., Кабанченко М. П., Соловьева О. Н. - М. : Машиностроение, 1991. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 168. - ISBN 5-217-00833-4.

Пащенко А. С., Пляка П. С., Понмаренко В. О.
   Ионно-плазменные технологии в микро- и наноэлектронике : [монография] / Пащенко А. С., Пляка П. С., Понмаренко В. О. ; РАН. - Ростов-на-Дону : Изд-во ЮНЦ РАН, 2013. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 168-175. - ISBN 978-5-4358-0057-9.

Криони Н. К., Шехтман С. Р., Мигранов М. Ш.
   Наноструктурированные вакуумные ионно-плазменные покрытия : [монография] / Криони Н. К., Шехтман С. Р., Мигранов М. Ш. - М. : Инновационное машиностроение, 2017. - 366 с. : ил. - Библиогр.: с. 340-366. - ISBN 978-5-9500364-1-5.

   Физические методы нанесения нанопокрытий : учебное пособие для вузов / Мухин В. С., Будилов В. В., Шехтман С. Р. [и др.] ; ред. Мухин В. С., Шехтман С. Р. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Юрайт, 2021. - 331 с. : рис., табл. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 328-331. - ISBN 978-5-534-13807-8.

Григорьев С. Н., Мельник Ю. А., Метель А. С.
   Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий : монография / Григорьев С. Н., Мельник Ю. А., Метель А. С. - М. : КУРС, 2021. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 161-174. - ISBN 978-5-906923-01-1.

Кудинов В. В., Бобров Г. В.
   Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование : учебник для вузов / Кудинов В. В., Бобров Г. В. ; ред. Митин Б. С. - М. : Металлургия, 1992. - 432 с. : ил. - Библиогр.: с. 430-431. - ISBN 5-229-00843-1.

Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В.
   Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. - М. : Радио и связь, 1995. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 171-175. - ISBN 5-256-00577-4.