Личный кабинет
6 записей
Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:с. 275-280 . - ISBN 978-5-9963-0032-7 .
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
9 экз.
Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - Библиогр.:с. 275-280 . - ISBN 978-5-9963-0032-7 .
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - Библиогр.:
1 экз.
Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:с. 275-280 . - ISBN 978-5-9963-0032-7 .
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
2 экз.
Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:с. 275-280 . - ISBN 978-5-9963-0032-7 .
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
3 экз.
Моро У.
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. -ISBN 5-03-001717-8 .
Ч. 1. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-03-001716-X .
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. -
Ч. 1. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр.
4 экз.
Моро У.
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. -ISBN 5-03-001717-8 .
Ч. 2. - 1990. - С. 614-1239 : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-03-001717-8 .
Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. -
Ч. 2. - 1990. - С. 614-1239 : ил. - Библиогр.
3 экз.
