Расширенный поиск

   Физические методы нанесения нанопокрытий : учебное пособие для вузов / Мухин В. С., Будилов В. В., Шехтман С. Р. [и др.] ; ред. Мухин В. С., Шехтман С. Р. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Юрайт, 2021. - 331 с. : рис., табл. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 328-331. - ISBN 978-5-534-13807-8.

Чжо Зин Пьо
   Формирование плёнок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : дис... ктн : 05. 27. 06 / Чжо Зин Пьо ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 150 л. : ил. - Библиогр.: л. 140-150.

Васильев Д. Д.
   Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 157 л. : ил. - Библиогр.: л. 146-157.

Васильев Д. Д.
   Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 16 с.

Чжо Зин Пьо
   Формирование плёнок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Чжо Зин Пьо ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2021. - 16 с.

Берлин Е. В., Сейдман Л. А.
   Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Е. В., Сейдман Л. А. - 2-е изд., испр. и доп. - М. : URSS : Ленанд, 2022. - 316 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 304-316. - ISBN 978-5-9710-9680-1.

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.

Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В.
   Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. - М. : Радио и связь, 1995. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 171-175. - ISBN 5-256-00577-4.

Семенов А. П.
   Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.: с. 106-118. - ISBN 5-7623-1110-4.

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.: л. 30-32.