Расширенный поиск

Бабурин А. С.
   Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : автореф. дис... ктн : 05.27.06 / Бабурин А. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2019. - 15 с.

Бабурин А. С.
   Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : дис... ктн : 05.27.06 / Бабурин А. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2019. - 128 л. : ил. - Библиогр.: л.120-128.

   Физические методы нанесения нанопокрытий : учебное пособие для вузов / Мухин В. С., Будилов В. В., Шехтман С. Р. [и др.] ; ред. Мухин В. С., Шехтман С. Р. - 3-е изд., перераб. и доп. - Москва : Юрайт, 2021. - 331 с. : рис., табл. - (Высшее образование). - Библиогр.: с.328-331. - ISBN 978-5-534-13807-8.

Чжо Зин Пьо.
   Формирование плёнок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : дис... ктн : 05.27.06 / Чжо Зин Пьо ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2021. - 150 л. : ил. - Библиогр.: л.140-150.

Васильев Д. Д.
   Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2021. - 157 л. : ил. - Библиогр.: л.146-157.

Васильев Д. Д.
   Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2021. - 16 с.

Чжо Зин Пьо.
   Формирование плёнок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : автореф. дис... ктн : 05.27.06 / Чжо Зин Пьо ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2021. - 16 с.

Берлин Е. В., Сейдман Л. А.
   Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Е. В., Сейдман Л. А. - 2-е изд., испр. и доп. - Москва : URSS : ЛЕНАНД, 2022. - 316 с. : рис., табл. - Библиогр.: с.304-316. - ISBN 978-5-9710-9680-1.

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05.13.07 : 05.27.07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - Москва, 1995. - 32 с.

Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В.
   Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. - Москва : Радио и связь, 1995. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с.171-175. - ISBN 5-256-00577-4.