Расширенный поиск

   Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники : [монография] / Кузнецов Ф. А., Воронков М. Г., Борисов В. О. [и др.] ; Ин-т неорганической химии им. А. В. Николаева, Иркутский ин-т химии им. А. Е. Фаворского, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2013. - 175 с. : ил. - (Интеграционные проекты СО РАН ; вып. 37). - Библиогр.: с. 156-171. - ISBN 978-5-7692-1272-7.

   Проблемы субмикронной технологии / Российская академия наук ; отв. ред. тома Орликовский А. А. - М. : Наука, 1993. - 111 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 6). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006991-4.

   Субмикронные технологии : сборник статей / Российская академия наук ; отв. ред. Репин В. Н. - М. : Наука, 1995. - 76 с. : рис., табл. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 9). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-000831-1.

Родионов Ю. А.
   Производство гибридных интегральных схем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2020. - 298 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 298. - ISBN 978-5-9729-0460-0.

Ланина Э. П.
   Современные технологии производства интегральных схем : учебное пособие для вузов / Ланина Э. П. - Старый Оскол : ТНТ, 2020. - 310 с. : ил. - Библиогр.: с. 309-310. - ISBN 978-5-94178-646-6.

Родионов Ю. А.
   Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - СПб. : Лань, 2021. - 218 с. : ил. - (Высшее образование). - ISBN 978-5-8114-5788-5.

Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г.
   Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г. - М. : Радио и связь, 2001. - 631 с. : ил. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3.

   Сверхбольшие интегральные схемы и современная обработка сигналов : пер. с англ. / ред. Гун С., Уайтхаус Х., Кайлат Т. ; ред. пер. Лексаченко В. А. - М. : Радио и связь, 1989. - 471 с. - ISBN 5-256-00179-5.

   Проблемы микроэлектронной технологии / Российская Акадамия наук ; отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1994. - 126 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 8). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-007030-0.

   Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская Акадамия наук ; отв. ред. Великов Л. В. - М. : Наука, 1994. - 75 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 7). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-007019-X.