Расширенный поиск

Панфилов Ю. В.
   Модификация и измерение характеристик поверхности. Получение многокомпонентных покрытий (аналитический обзор материалов 13-й Международной научно-технической конференции «Инженерия поверхности и реновация изделий», июнь 2013 г., Крым, г. Ялта) / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2013. - № 11. - С. 3-7.

Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
   Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 191 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 3). - Библиогр.: с.167. - ISBN 978-5-7038-3494-7.

Панфилов Ю. В.
   Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2017. - Т. 13, № 11. - С. 523-527.

Панфилов Ю. В.
   Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. - С. 6-15.

Панфилов Ю. В.
   Перспективы создания вакуумных автоматических линий / Панфилов Ю. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; ред. Волчкевич Л. И. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). - С. 23-32.

Панфилов Ю. В.
   Состояние исследований и разработок в области нанотехнологий в Северной Европе (аналитический обзор) / Панфилов Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. - С. 2-4.

Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
   Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.: с.178-179. - ISBN 978-5-7038-3499-2.

Панфилов Ю. В.
   Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.: с.89. - ISBN 978-5-7038-5350-4.

Панфилов Ю. В.
   Элионные процессы и нанотехнологии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.: с.125. - ISBN 978-5-7038-3501-2.

Панфилова Е. В.
   Исследование планарных опаловых структур методами сканирующей туннельной микроскопии / Панфилова Е. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ) ; ред. Быков Д. В. - М., 2014. - С. 122-124.