Расширенный поиск

Файнштейн С. М.
   Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов / Файнштейн С. М. - 3-е изд., перераб. - М. : Энергия, 1970. - 294 с. : ил. - Библиогр.: с. 286-294.

   Производство полупроводниковых приборов / ред. пер. с англ. Глебов Г. Д. - М. : Оборонгиз, 1962. - 358358 с. : ил. - Библиогр. в конце гл.

Тихонов Ю. Н.
   Технология изготовления германиевых и кремниевых диодов и триодов / Тихонов Ю. Н. - М. ; Л. : Энергия, 1964. - 239 с. : ил. - Библиогр.: с. 236.

Куликов И. Н.
   Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. (Нац. исслед. ун-т). - М., 2019. - 228 л. : ил. - Библиогр.: л. 165-179.

Куликов И. Н.
   Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : автореф. дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. (Нац. исслед. ун-т). - М., 2019. - 17 с. : ил.

Моро У.
   Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. - ISBN 5-03-001717-8.
   Ч. 1. - 1990. - 606 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-03-001716-X.

Моро У.
   Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 ч. / Моро У. ; пер. с англ. Зарослов Д. Ю., Мокроусов К. Я., Никитаева В. А. ; ред. пер. Тимеров Р. Х. ; авт. предисл. Валиев К. А. - М. : Мир, 1990. - ISBN 5-03-001717-8.
   Ч. 2. - 1990. - С. 614-1239 : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-03-001717-8.

Шишмарёв, В. Ю.  Технические измерения и приборы : учебник для вузов / В. Ю. Шишмарёв. — 3-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2024. — 377 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-12536-8.

Подружин, Е. Г.  Конструирование и проектирование летательных аппаратов. Фюзеляж : учебное пособие для вузов / Е. Г. Подружин, В. М. Степанов, П. Е. Рябчиков. — 2-е изд. — Москва : Издательство Юрайт, 2024. — 105 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-08401-6.

Липатов Г. И.
   Особенности производства ИС : учебное пособие / Липатов Г. И. - Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. - ISBN 978-5-7731-0800-9.