Расширенный поиск

   Технология микросистемной техники : учеб. пособие : в 3 ч. / Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010.
   Ч. 1 : Методы микрообработки. - 2010. - 36 с. : ил. - Библиогр.: с. 36.

   Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учеб. пособие для вузов] : в 2 т. / общ. ред. Коркишко Ю. Н. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П. - 2010. - 392 с. : ил. - Библиогр.: с. 386-389. - ISBN 978-5-9963-0335-9.

   Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учеб. пособие для вузов] : в 2 т. / общ. ред. Коркишко Ю. Н. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / Акуленок М. В., Андреев В. М., Громов Д. Г. [и др.]. - 2011. - 252 с. : ил. - Библиогр.: с. 243-248. - ISBN 978-5-9963-0336-6.

   Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники : [монография] / Кузнецов Ф. А., Воронков М. Г., Борисов В. О. [и др.] ; Ин-т неорганической химии им. А. В. Николаева, Иркутский ин-т химии им. А. Е. Фаворского, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2013. - 175 с. : ил. - (Интеграционные проекты СО РАН ; вып. 37). - Библиогр.: с. 156-171. - ISBN 978-5-7692-1272-7.

   Проблемы субмикронной технологии / Российская академия наук ; отв. ред. тома Орликовский А. А. - М. : Наука, 1993. - 111 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 6). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006991-4.

   Субмикронные технологии : сборник статей / Российская академия наук ; отв. ред. Репин В. Н. - М. : Наука, 1995. - 76 с. : рис., табл. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 9). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-000831-1.

Родионов Ю. А.
   Производство гибридных интегральных схем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2020. - 298 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 298. - ISBN 978-5-9729-0460-0.

Ланина Э. П.
   Современные технологии производства интегральных схем : учебное пособие для вузов / Ланина Э. П. - Старый Оскол : ТНТ, 2020. - 310 с. : ил. - Библиогр.: с. 309-310. - ISBN 978-5-94178-646-6.

Родионов Ю. А.
   Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - СПб. : Лань, 2021. - 218 с. : ил. - (Высшее образование). - ISBN 978-5-8114-5788-5.

Валиев К. А.
   Физика субмикронной литографии / Валиев К. А. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : рис. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-014381-2.