533 записи
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учебное пособие для вузов / Сазонов А. А., Корнилов Р. В., Кохан Н. П. [и др.] ; ред. Сазонов А. А. - М. : Высшая школа, 1991. - 333 с. - Библиогр.: с. 332 . - ISBN 5-06-000731-6 .
Автоматизированное проектирование наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Власов А. И., Зинченко Л. А., Макарчук В. В., Родионов И. А. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 183 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 13). - Библиогр.: с. 181 . - ISBN 978-5-7038-3504-3 .
Агаханян Т. М., Аствацатурьян Е. Р., Скоробогатов П. К.
Радиационные эффекты в интегральных микросхемах / Агаханян Т. М., Аствацатурьян Е. Р., Скоробогатов П. К. ; ред. Агаханян Т. М. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 252 с. : рис., табл. - Библиогр.:с. 242-251 . - ISBN 5-283-02963-8 .
Радиационные эффекты в интегральных микросхемах / Агаханян Т. М., Аствацатурьян Е. Р., Скоробогатов П. К. ; ред. Агаханян Т. М. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 252 с. : рис., табл. - Библиогр.:
Статья в журнале
Адамова А. А., Цивинская Т. А.
Прецизионный сенсор давления на базе монокристаллического кремния / Адамова А. А., Цивинская Т. А. // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2020. - № 9. -С. 104-109 .
Прецизионный сенсор давления на базе монокристаллического кремния / Адамова А. А., Цивинская Т. А. // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2020. - № 9. -
Адонин А. С., Петросянц К. О.
КМОП интегральные схемы со структурой "кремний на сапфире" : монография / Адонин А. С., Петросянц К. О. - М. : ТЕХНОСФЕРА, 2022. - 379 с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр.:с. 21-23, в конце глав . - ISBN 978-5-94836-614-2 .
КМОП интегральные схемы со структурой "кремний на сапфире" : монография / Адонин А. С., Петросянц К. О. - М. : ТЕХНОСФЕРА, 2022. - 379 с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр.:
Статья в журнале
Алгоритм модификации топологического слоя СБИС структурами заполнения на основе моделирования химико-механической планаризации / Амирханов А. В., Гладких А. А., Макарчук В. В., Столяров А. А., Шахнов В. А. // Микроэлектроника. - 2013. - Т. 42, № 6. - С. 463-471 .
Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). -ISBN 978-5-507-45478-5 .
Ч. 1 : От минерального сырья к монокристалу. - 2025. - 170 с. : табл., граф. - Библиогр.:с. 166-167 . - ISBN 978-5-507-45479-2 .
Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). -
Ч. 1 : От минерального сырья к монокристалу. - 2025. - 170 с. : табл., граф. - Библиогр.:
Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). -ISBN 978-5-507-45478-5 .
Ч. 2 : Основы технологий разделения и очистки. - 2025. - 214 с. : ил. - Библиогр.:с. 209-211 . - ISBN 978-5-507-45480-8 .
Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). -
Ч. 2 : Основы технологий разделения и очистки. - 2025. - 214 с. : ил. - Библиогр.:
Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). -ISBN 978-5-507-45478-5 .
Ч. 3 : Эпитаксиальный рост. - 2025. - 212 с. : ил. - Библиогр.:с. 207-210 . - ISBN 978-5-507-45481-5 .
Введение в технологию материалов микроэлектроники : учебник / Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В. - СПб. : Лань, 2025. - (Высшее образование). -
Ч. 3 : Эпитаксиальный рост. - 2025. - 212 с. : ил. - Библиогр.:
