Расширенный поиск

Валиев К. А.
   Физика субмикронной литографии / Валиев К. А. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : рис. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-014381-2.

Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г.
   Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Альтудов Ю. К., Гарицын А. Г. - М. : Радио и связь, 2001. - 631 с. : ил. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3.

Румак Н. В., Хатько В. В.
   Диэлектрические плёнки в твёрдотельной микроэлектронике / Румак Н. В., Хатько В. В. ; ред. Борисенко В. Е. ; Академия наук Белорусской ССР, Физико-технический институт. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 190 с. : ил. - Библиогр.: с. 181-189. - ISBN 5-343-00540-3.

   Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; ред. Гуляев Ю. В. ; Томский политехнический университет, Московский гос. ун-т информационных технологий радиотехники и электроники (МИРЭА МГУПИ). - М. : Юрайт, 2016. - 460 с. : ил. - (Программа "Университеты России"). - Библиогр.: с. 405-406. - ISBN 978-5-9916-7155-2.

   Проблемы микроэлектронной технологии / Российская Акадамия наук ; отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1994. - 126 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 8). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-007030-0.

   Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская Акадамия наук ; отв. ред. Великов Л. В. - М. : Наука, 1994. - 75 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 7). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-007019-X.

   Микроструктурирование тонких плёнок : сборник статей / Академия наук СССР, Физико-технологический институт. - М. : Наука, 1991. - 110 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 2). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006817-9.

   Проблемы микроэлектронной технологии : сборник статей / Российская Акадамия наук ; отв. ред. тома Великов Л. В. - М. : Наука, 1992. - 97 с. : рис., табл. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 4). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006868-3.

   Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакаравриата и магистратуры / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; ред. Гуляев Ю. В. ; Томский политехнический университет, Моск. гос. ун-т информационных технологий, радиотехники и электроники. - М. : Юрайт, 2017. - 460 с. : ил. - (Программа "Университеты России"). - Библиогр.: с. 405-406. - ISBN 978-5-534-03170-6.

   Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для вузов / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С. [и др.] ; ред. Гуляев Ю. В. - М. : Юрайт, 2025. - 460 с. : ил. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 405-406. - На титульном листе авторы не указаны. - ISBN 978-5-534-03170-6.