Личный кабинет
47259 записей
Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 191 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 3). - Библиогр.:с.167 . - ISBN 978-5-7038-3494-7 .
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 191 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 3). - Библиогр.:
Читать онлайн
97 экз.
Статья в журнале
Панфилов Ю. В.
Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2017. - Т. 13, № 11. -С. 523-527 .
Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2017. - Т. 13, № 11. -
Статья в журнале
Панфилов Ю. В.
Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. -С. 6-15 .
Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. -
Аналитическое описание
Панфилов Ю. В.
Перспективы создания вакуумных автоматических линий / Панфилов Ю. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; ред. Волчкевич Л. И. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). -С. 23-32 .
Перспективы создания вакуумных автоматических линий / Панфилов Ю. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; ред. Волчкевич Л. И. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). -
Статья в журнале
Панфилов Ю. В.
Состояние исследований и разработок в области нанотехнологий в Северной Европе (аналитический обзор) / Панфилов Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. -С. 2-4 .
Состояние исследований и разработок в области нанотехнологий в Северной Европе (аналитический обзор) / Панфилов Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. -
Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.:с.178-179 . - ISBN 978-5-7038-3499-2 .
Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.:
97 экз.
Панфилов Ю. В.
Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.:с.89 . - ISBN 978-5-7038-5350-4 .
Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.:
20 экз.
Статья в журнале
Панфилов Ю. В.
Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть II. Конспект лекций / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 6. -С. 20-27 .
Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть II. Конспект лекций / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 6. -
Статья в журнале
Панфилов Ю. В.
Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть I. Конспект лекций / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 4. -С. 14-27 .
Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть I. Конспект лекций / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 4. -
Панфилов Ю. В.
Элионные процессы и нанотехнологии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.:с.125 . - ISBN 978-5-7038-3501-2 .
Элионные процессы и нанотехнологии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.:
80 экз.
