Расширенный поиск

Иевлев В. М., Бугаков А. В., Трофимов В. И.
   Рост и субструктура конденсирования плёнок : учебное пособие / Иевлев В. М., Бугаков А. В., Трофимов В. И. ; Воронежский государственный технический университет. - Воронеж : Изд-во ВГТУ, 2000. - 386 с. : ил. - Библиогр.: с. 386.

   Разработка вакуумных технологических методов формирования сверхтвердых нанокомпозитных материалов и исследование их свойств : отчёт о НИР (заключительный) / МГТУ. Каф. "Электронные технологи в машиностроении"(МТ-11) ; рук. нир Панфилов Ю. В. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2002. - 58 л. - Библиогр.: л. 57-58. - Шифр 0501016. - Инв. № 02.20.0303268.

Хохлов Ю. А.
   Нанесение оптических покрытий методами вакуумно-плазменной технологии : учеб. пособие / Хохлов Ю. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2004. - 81 с. : ил. - Библиогр.: с. 80. - ISBN 5-7038-2444-3.

Берлин Е. В., Сейдман Л.
   Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Берлин Е. В., Сейдман Л. - М. : Техносфера, 2010. - 527 с. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-94836-222-9.

Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л.
   Нанесение тонких пленок в вакууме : метод. указания к ла. работам по курсам "Основы вакуумной технологии" и "Инженерный практикум" / Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л. ; ред. Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 83 с. : ил. - Библиогр. в конце работ. - ISBN 5-7038-1849-4.

Пащенко А. С., Пляка П. С., Понмаренко В. О.
   Ионно-плазменные технологии в микро- и наноэлектронике : [монография] / Пащенко А. С., Пляка П. С., Понмаренко В. О. ; РАН. - Ростов-на-Дону : Изд-во ЮНЦ РАН, 2013. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 168-175. - ISBN 978-5-4358-0057-9.

Криони Н. К., Шехтман С. Р., Мигранов М. Ш.
   Наноструктурированные вакуумные ионно-плазменные покрытия : [монография] / Криони Н. К., Шехтман С. Р., Мигранов М. Ш. - М. : Инновационное машиностроение, 2017. - 366 с. : ил. - Библиогр.: с. 340-366. - ISBN 978-5-9500364-1-5.

   Физические методы нанесения нанопокрытий : учебное пособие для вузов / Мухин В. С., Будилов В. В., Шехтман С. Р. [и др.] ; ред. Мухин В. С., Шехтман С. Р. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Юрайт, 2021. - 331 с. : рис., табл. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 328-331. - ISBN 978-5-534-13807-8.

Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В.
   Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Анищенко Л. М., Лавренюк С. Ю., Петрухин В. В. - М. : Радио и связь, 1995. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 171-175. - ISBN 5-256-00577-4.

Семенов А. П.
   Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.: с. 106-118. - ISBN 5-7623-1110-4.